Occasion SPS Plamax #293664085 à vendre en France

SPS Plamax est un système de gravure et d'ashing haute performance utilisé dans les processus de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'une unité de gravure et de cendrage automatique à haute température, conçue pour faciliter l'application de cendres à court terme et à haute température. Plamax se compose de trois composants principaux : un four, un générateur RF et un outil RIE. Le four a une plage de température allant jusqu'à 1100 ° C et offre une capacité de rampe de température rapide avec un contrôle précis. Il comprend également le traitement de levage vertical, qui permet à l'outil de traiter une grande variété de substrats allant de 200mm à 400mm. Le générateur RF fournit une puissance de sortie variable, ce qui le rend capable de graver et d'aspirer un matériau épais. Le générateur RF dispose également d'une large gamme de mélanges de gaz de traitement de Ar/O2 à SF6/O2, ce qui permet un haut degré de contrôle sur les résultats de gravure et d'ashing. L'outil RIE offre un contrôle précis de la profondeur de gravure et de la douceur de gravure et de cendrage, permettant des rapports d'aspect plus élevés et un meilleur contrôle d'aspect. Il dispose également d'un système automatisé de contrôle des processus permettant des processus reproductibles de haute précision et une répétabilité et une cohérence maximales. SPS Plamax est capable de configurer une plaquette par lots et une seule plaquette. Le transfert automatique de cassette à cassette permet une manutention sans soudure des plaquettes et un fonctionnement rapide. Des modules spéciaux sont disponibles pour contrôler la position du substrat qui assure un alignement précis et minimise l'impact de la structure inégale des plaquettes. Plamax est conçu pour offrir un rendement élevé, une grande précision et un traitement rapide de la gravure et de la cendre. Sa capacité supérieure de contrôle des processus et ses performances fiables en font un choix privilégié pour la fabrication de dispositifs. Avec ses capacités de processus polyvalentes, SPS Plamax peut être utilisé pour la gravure et la cueillette d'une variété de matériaux dans une gamme d'épaisseurs à travers une variété de substrats.