Occasion SPTS / APPLIED MICROSTRUCTURES MVD150 #293831476 à vendre en France

ID: 293831476
Taille de la plaquette: 8"
Molecular Vapor Deposition (MVD) system, 8" Single chamber O2 Plasma generator Onboard liquid ampules Aera: PA-781C 10L N2 Aera: PA-780C 500 SCCM O2 Dry pumps: BUSCH BA100 Cooling trap on fore line.
SPTS/APPLIED MICROSTRUCTURES MVD150 est un équipement de graveur/asher très avancé conçu pour les procédés de microfabrication dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet outil polyvalent est largement utilisé pour des applications de gravure et de nettoyage dans la production de dispositifs semi-conducteurs, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), et d'autres composants de microélectronique. Une des caractéristiques clés de SPTS MVD150 est ses capacités avancées de contrôle des processus, qui permettent des processus de gravure et d'ashing précis et répétables. Il en résulte une homogénéité supérieure des procédés et des performances des dispositifs, essentielles pour obtenir un rendement et une fiabilité élevés dans la fabrication des semi-conducteurs. Le système utilise une combinaison de techniques de gravure par plasma et d'ashing pour éliminer sélectivement les matériaux des substrats. La source de plasma génère des espèces réactives qui interagissent avec le matériau à la surface du substrat, conduisant à la gravure ou au nettoyage du substrat. MICROSTRUCTURES APPLIQUÉES MVD150 est équipé d'une gamme de sources de gaz et de recettes de procédés pour répondre à une variété de matériaux et d'exigences de procédés. MVD150 dispose d'une chambre à vide haute performance qui maintient des conditions de processus précises, y compris la pression, la température et les débits de gaz. Cela garantit que les processus de gravure et d'ashing sont effectués dans un environnement contrôlé, minimisant la contamination et assurant une répétabilité élevée des processus. L'unité est équipée d'une alimentation RF (Radio Frequency) avancée qui fournit l'énergie nécessaire pour créer et maintenir le plasma dans la chambre. La puissance RF peut être modulée pour optimiser les conditions de processus pour différents matériaux et substrats, ce qui permet d'affiner les paramètres de gravure et d'ashing. SPTS/MICROSTRUCTURES APPLIQUÉES MVD150 est également équipé d'une machine de distribution de gaz de pointe qui permet un contrôle précis des débits de gaz et des mélanges. Ceci garantit que la bonne combinaison de gaz est livrée à la chambre pendant les processus de gravure et de cueillette, permettant l'élimination sélective des matériaux avec une grande sélectivité et uniformité. L'outil est contrôlé par une interface conviviale qui permet aux opérateurs de programmer et de surveiller les paramètres du processus en temps réel. Les recettes de processus peuvent être facilement personnalisées pour répondre aux exigences spécifiques des applications, et les fonctions d'enregistrement et de rapport des données permettent l'optimisation des processus et le dépannage. SPTS MVD150 est conçu avec la sécurité et la fiabilité en tête, avec des emboîtements et des systèmes de sécurité pour protéger les opérateurs et les équipements pendant le fonctionnement. L'actif est également conçu pour faciliter l'entretien, avec des composants accessibles et des pièces utilisables qui minimisent les temps d'arrêt et assurent un fonctionnement continu. Dans l'ensemble, APPLIED MICROSTRUCTURES MVD150 est un modèle de pointe de graveur/asher qui offre des performances et une précision inégalées pour les processus de microfabrication dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec ses capacités avancées de contrôle des processus, son équipement polyvalent de livraison de gaz et son interface conviviale, MVD150 est un outil précieux pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir une fabrication d'appareils de haute qualité et fiable.
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