Occasion SPTS Delta FxP #293800451 à vendre en France

SPTS Delta FxP est un graveur/asher à plasma avancé utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour des processus de gravure et d'ashing précis et performants. Cet outil polyvalent est conçu pour répondre aux exigences exigeantes de la fabrication avancée de semi-conducteurs, offrant une gamme de capacités de processus pour la microélectronique, MEMS, et d'autres technologies émergentes. Delta FxP dispose d'une source d'énergie à double fréquence avec des capacités RF (radiofréquence) et MW (micro-ondes), permettant un meilleur contrôle des processus et une plus grande flexibilité. Cette puissance à double fréquence permet à l'équipement d'obtenir une gamme plus large de conditions de processus, ce qui permet une meilleure uniformité de gravure et de cendres sur une variété de matériaux et de tailles de substrat. Une des caractéristiques clés de SPTS Delta FxP est sa conception avancée de chambre de processus, qui est optimisée pour la production de particules à haut débit et faible. La chambre est équipée d'une combinaison de systèmes d'injection de gaz, de polarisation RF et de régulation de la température pour assurer un contrôle précis des processus de gravure et de cueillette. Cette conception permet une répétabilité et des performances de processus cohérentes, essentielles pour la fabrication de semi-conducteurs à haut volume. Delta FxP dispose également d'un système de distribution de gaz sophistiqué qui permet un contrôle précis des débits et des mélanges de gaz. Cette unité est essentielle pour obtenir la chimie et les performances de procédé souhaitées, car différents gaz et mélanges gazeux sont utilisés pour graver ou cendrer des matériaux spécifiques avec une grande sélectivité et uniformité. La machine est équipée de capacités avancées de détection d'endpoint, permettant une surveillance en temps réel des processus de gravure et d'ashing. Ceci permet à l'outil de contrôler avec précision le point d'extrémité du procédé, en assurant l'enlèvement de la quantité de matière désirée sans surgravure ou endommagement des couches sous-jacentes. L'outil de détection d'endpoint aide à améliorer le contrôle et la répétabilité des processus, ce qui augmente le rendement et les performances des appareils. SPTS Delta FxP est également équipé d'un modèle de manutention de substrat haute performance qui peut accueillir des plaquettes de différentes tailles et épaisseurs. L'équipement peut traiter des substrats standards et très sensibles, offrant la flexibilité nécessaire pour différentes applications de processus. Le système de manutention du substrat est conçu pour minimiser la production de particules et assurer un alignement et un contact appropriés du substrat pendant les processus de gravure et de cueillette. Dans l'ensemble, Delta FxP est une unité de graveur/asher à plasma de pointe qui offre des capacités avancées pour la fabrication de semi-conducteurs. Sa source d'énergie à double fréquence, la conception avancée de la chambre de processus, la précision de la machine de distribution de gaz, les capacités de détection du point d'extrémité et l'outil de manipulation du substrat en font un outil idéal pour des environnements de production et de recherche à haut volume. Avec son contrôle et ses performances supérieurs, SPTS Delta FxP est un atout précieux pour les entreprises qui cherchent à réaliser une fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs avec une grande précision et fiabilité.