Occasion SPTS MVD150 #9280194 à vendre en France

SPTS MVD150 est un équipement avancé de gravure et d'ashing conçu pour une gamme d'applications incluant la fabrication MEMS, photonique et d'intégration 3D. Utilisant la technologie des radiofréquences (RF) à des fréquences de 25 MHz et 130 MHz, elle permet d'éliminer de façon très sélective et précise les matériaux utilisés pour le traitement, sur une large gamme de températures de procédé contrôlées allant de - 50˚C à 1000˚C. Les principales caractéristiques du système comprennent une taille de chambre inégalée de 300x300x150mm, une unité de vide avec un débit de gaz élevé allant jusqu'à 1000slm, un régulateur de débit magnétique et massique pour un contrôle précis du débit, et une technologie de substrat à distance pour un traitement de longue durée. La machine offre un contrôle avancé des processus, y compris le contrôle informatique des paramètres du processus. Il est capable de rétroaction et de surveillance continues à travers une gamme de capteurs et de moniteurs, assurant un contrôle serré de la température, de la pression et du positionnement critiques de la plaquette. De plus, plusieurs paramètres de contrôle de processus, tels que la pression de la chambre, la puissance RF et la profondeur de gravure, peuvent être programmés et optimisés pour obtenir des résultats supérieurs. L'outil est également équipé d'une suite de vecteurs de chimie de gravure et de cendrage, offrant la capacité polyvalente de choisir le produit chimique nécessaire à la gravure et au cendrage précisément conçus. Il a été optimisé pour travailler avec une vaste gamme de produits chimiques pour optimiser le processus pour des combinaisons de matériaux spécifiques. En outre, l'actif a été testé et qualifié pour répondre à une grande variété de normes de l'industrie, lui permettant de répondre à des exigences strictes de qualité et de sécurité. Il est conçu pour une répétabilité optimale, la propreté, et à faible coût de propriété avec des certifications telles que ANSI/RIA NIST-2011, ISO 9001:2015, Pacific Council Chambers (PCC) conforme, et SEMI S2 conforme. Son mode basse pression (LPV) permet un fonctionnement cohérent et précis lors des processus d'ashing, contribuant à réduire les variations de processus et statistiques. Enfin, le modèle dispose également d'une gamme de supports pour la gravure et le cendrage à l'échelle de la production, y compris une bibliothèque de protocoles, un équipement de télésurveillance et des systèmes automatisés de chargement/déchargement. MVD150 système de gravure est un choix idéal pour les ingénieurs et les fabricants à la recherche d'une unité de gravure et de cendrage puissante et précise qui peut gérer une grande variété de matériaux et de processus. Il offre une approche de pointe de la production de gravures/cendres, permettant des résultats cohérents et reproductibles tout en économisant du temps, des ressources et de l'argent.