Occasion SPTS Omega FXP #9186561 à vendre en France

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Fabricant
SPTS
Modèle
Omega FXP
ID: 9186561
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2012
Rapier plasma etch system, 8" (3) Electronics control cabinets (4) Main system chillers (5) Upgrade kits, 8" (2) DSI Rapier process module Wafer transport module: fxP Multi chamber system Standard system features: (4) Color alarm towers Bracket-mounted high resolution color TFT Monitor with keyboard Thru wall panel PC104 Control architecture Devicenet control module: Pendulum valve MFCs Pneumatics Fore-line convectron Thermocouples Electronics rack Cable: 10 m Electronics cabinet CE Compliant SEMI -S2 Compliant (2) System manuals on CD Conversion kit, 8" Rear control station fxP Transport module: (8) Port wafer transport modules Brooks MagnaTran 7 series robot (2) Fixed vacuum cassettes Dynamic wafer aligner DSi Rapier process module: Bosch process deep Si module Rapier plasma source Module envelope contains Process control hardware Control unit PC104 AE Apex RF generator: Primary source Secondary source Bias - HF Bias - LF RF Bias match Top power fixed match DC Coil supply Heated VAT pendulum valve Electro-static chuck PSU / He back-pressure control Heated lower chamber DSi Upper chamber / Foreline Extracted surface mount gas boxes: Primary Secondary ALCATEL ATH2300MT turbo pump Automated He flow endpoint Turbo by-pass for module roughing Chamber capacitance manometer (1.0 torr) Foreline mini-capacitance manometer Wafer edge protection ring Perfluoroelastomer seals Options: Claritas optical endpoint system Ancillary equipment: Re-circulating chiller (Bettatech CU700) Chills platen ADIXEN ADP122LM ADIXEN ADS602H THERMO Flex 24000 NESLAB chiller Chills pumps Includes: Main chamber Handler Control cabinet Computer holder (2) Pumps Spare parts 2012 vintage.
SPTS Omega FXP est un graveur ou asher conçu pour une production et une fiabilité à haut volume. L'équipement dispose d'un certain nombre de caractéristiques uniques qui lui permettent de gérer plusieurs étapes de processus simultanément et avec précision. Le système est basé sur SPTS Technologies breveté 350 mm wafer mécanisme d'échange de charge de verrouillage, permettant jusqu'à trois étapes de processus en parallèle pour un débit rapide. La conception et l'ingénierie de la chambre assurent un processus fiable avec un temps d'arrêt minimal et une intervention humaine minimale. L'unité peut être équipée d'une gamme d'options telles que des systèmes de livraison de produits chimiques, des systèmes de protection haute, des revêtements de blindage et des configurations supplémentaires pour des applications personnalisées. SPTS OMEGA FXP utilise le contrôle à haute résolution de la distance du tour et la surveillance en boucle fermée pour assurer un traitement précis et reproductible. Il est équipé d'une variété d'options d'approvisionnement en gaz et de contrôle pour soutenir les chimiographies de gravure et les processus de gravure qui nécessitent un contrôle précis du gaz. La machine dispose également d'un moniteur de jet de processus propriétaire, qui fournit des données en temps réel sur la pression, la température et la vitesse de gravure. Ces données garantissent que les paramètres du processus sont dans les fourchettes souhaitées et peuvent être utilisées pour ajuster les recettes et assurer des résultats de processus cohérents et reproductibles. Le logiciel intégré de test et d'évaluation du matériel (HTE) de l'outil permet un test automatisé efficace des paramètres de processus reproductibles avant la production. L'actif est connecté à un réseau sécurisé pour surveiller les performances et assurer l'intégrité opérationnelle. Les données peuvent être partagées avec d'autres systèmes pour le contrôle des processus en temps réel et les ajustements des recettes. Pour améliorer la performance et la qualité des processus, Omega FXP peut être intégré à une variété de systèmes de chargement et de manutention automatiques. Ces systèmes assurent le chargement, le déchargement et le transfert automatiques des plaquettes, améliorant le rendement et le débit. Le modèle est également livré avec une gamme de fonctionnalités avancées de contrôle automatique de l'équipement pour améliorer le contrôle des processus, la gestion des alarmes et l'exécution des recettes. Dans l'ensemble, OMEGA FXP est un graveur/asher avancé conçu pour répondre aux exigences actuelles de production à haut volume en mettant l'accent sur des processus fiables et reproductibles. Avec son mécanisme avancé d'échange de loadlock de plaquettes, sa conception tolérante aux défauts et ses multiples configurations de processus, SPTS Omega FXP est un excellent choix pour une grande variété de processus de gravure.
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