Occasion SPTS Omega FXP #9186561 à vendre en France
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Vendu
ID: 9186561
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2012
Rapier plasma etch system, 8"
(3) Electronics control cabinets
(4) Main system chillers
(5) Upgrade kits, 8"
(2) DSI Rapier process module
Wafer transport module: fxP
Multi chamber system
Standard system features:
(4) Color alarm towers
Bracket-mounted high resolution color
TFT Monitor with keyboard
Thru wall panel
PC104 Control architecture
Devicenet control module:
Pendulum valve
MFCs
Pneumatics
Fore-line convectron
Thermocouples
Electronics rack
Cable: 10 m
Electronics cabinet
CE Compliant
SEMI -S2 Compliant
(2) System manuals on CD
Conversion kit, 8"
Rear control station
fxP Transport module:
(8) Port wafer transport modules
Brooks MagnaTran 7 series robot
(2) Fixed vacuum cassettes
Dynamic wafer aligner
DSi Rapier process module:
Bosch process deep Si module
Rapier plasma source
Module envelope contains
Process control hardware
Control unit PC104
AE Apex RF generator:
Primary source
Secondary source
Bias - HF
Bias - LF
RF Bias match
Top power fixed match
DC Coil supply
Heated VAT pendulum valve
Electro-static chuck
PSU / He back-pressure control
Heated lower chamber
DSi Upper chamber / Foreline
Extracted surface mount gas boxes:
Primary
Secondary
ALCATEL ATH2300MT turbo pump
Automated He flow endpoint
Turbo by-pass for module roughing
Chamber capacitance manometer (1.0 torr)
Foreline mini-capacitance manometer
Wafer edge protection ring
Perfluoroelastomer seals
Options:
Claritas optical endpoint system
Ancillary equipment:
Re-circulating chiller (Bettatech CU700)
Chills platen
ADIXEN ADP122LM
ADIXEN ADS602H
THERMO Flex 24000 NESLAB chiller
Chills pumps
Includes:
Main chamber
Handler
Control cabinet
Computer holder
(2) Pumps
Spare parts
2012 vintage.
SPTS Omega FXP est un graveur ou asher conçu pour une production et une fiabilité à haut volume. L'équipement dispose d'un certain nombre de caractéristiques uniques qui lui permettent de gérer plusieurs étapes de processus simultanément et avec précision. Le système est basé sur SPTS Technologies breveté 350 mm wafer mécanisme d'échange de charge de verrouillage, permettant jusqu'à trois étapes de processus en parallèle pour un débit rapide. La conception et l'ingénierie de la chambre assurent un processus fiable avec un temps d'arrêt minimal et une intervention humaine minimale. L'unité peut être équipée d'une gamme d'options telles que des systèmes de livraison de produits chimiques, des systèmes de protection haute, des revêtements de blindage et des configurations supplémentaires pour des applications personnalisées. SPTS OMEGA FXP utilise le contrôle à haute résolution de la distance du tour et la surveillance en boucle fermée pour assurer un traitement précis et reproductible. Il est équipé d'une variété d'options d'approvisionnement en gaz et de contrôle pour soutenir les chimiographies de gravure et les processus de gravure qui nécessitent un contrôle précis du gaz. La machine dispose également d'un moniteur de jet de processus propriétaire, qui fournit des données en temps réel sur la pression, la température et la vitesse de gravure. Ces données garantissent que les paramètres du processus sont dans les fourchettes souhaitées et peuvent être utilisées pour ajuster les recettes et assurer des résultats de processus cohérents et reproductibles. Le logiciel intégré de test et d'évaluation du matériel (HTE) de l'outil permet un test automatisé efficace des paramètres de processus reproductibles avant la production. L'actif est connecté à un réseau sécurisé pour surveiller les performances et assurer l'intégrité opérationnelle. Les données peuvent être partagées avec d'autres systèmes pour le contrôle des processus en temps réel et les ajustements des recettes. Pour améliorer la performance et la qualité des processus, Omega FXP peut être intégré à une variété de systèmes de chargement et de manutention automatiques. Ces systèmes assurent le chargement, le déchargement et le transfert automatiques des plaquettes, améliorant le rendement et le débit. Le modèle est également livré avec une gamme de fonctionnalités avancées de contrôle automatique de l'équipement pour améliorer le contrôle des processus, la gestion des alarmes et l'exécution des recettes. Dans l'ensemble, OMEGA FXP est un graveur/asher avancé conçu pour répondre aux exigences actuelles de production à haut volume en mettant l'accent sur des processus fiables et reproductibles. Avec son mécanisme avancé d'échange de loadlock de plaquettes, sa conception tolérante aux défauts et ses multiples configurations de processus, SPTS Omega FXP est un excellent choix pour une grande variété de processus de gravure.
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