Occasion SPTS PRIMAXX #293811099 à vendre en France

SPTS Primaxx est un outil avancé de processus Etch/Ash qui offre plusieurs capacités de traitement de plaquettes dans une seule plate-forme. Sa conception innovante et sa technologie de pointe permettent un faible coût total de possession, ce qui en fait un outil de procédé idéal pour l'industrie des semi-conducteurs. L'équipement dispose d'une gravure plasma/cendres de faible puissance unique couplée à un processus de gravure ionique/cendres réactives à haut débit (RIE). Le système deux en un a un faisceau d'électrons bidirectionnel alternatif pour les opérations de gravure et de cendres. Il est capable de traiter jusqu'à 200 mm de plaquettes et présente une homogénéité plasmatique de 99,98 %. Primaxx dispose également d'une unité de chauffage rapide et efficace, avec un chauffe-film composé aromatique et un élément chauffant au faisceau d'électrons. La machine est capable de chauffer des plaquettes jusqu'à 400 ° C en moins de 10 minutes. Cela lui permet de créer des films uniformes à des taux de gravure plus élevés et des taux de dépôt plus élevés, pour des performances de procédé améliorées. SPTS Primaxx peut traiter un large éventail de matériaux, notamment le silicium, le verre, l'arséniure de gallium et le phosphure d'indium. Il peut également traiter des appareils spécialisés tels que MEMS, LED et composants optoélectroniques. L'outil de commande de mouvement de Primaxx est conçu pour des opérations de gravure et de cendres de haute précision. Il dispose d'un mécanisme d'emboîtement intégré, lui permettant d'effectuer de multiples opérations sur une seule plaquette avec un positionnement et un alignement précis. SPTS Primaxx exécute un processus entièrement automatisé et contrôlé par le logiciel. Il est capable d'opérations de gravure/cendres en un seul passage pour un débit élevé. Cela le rend adapté aux applications de R&D et de production, permettant aux utilisateurs de traiter rapidement et précisément un large éventail de matériaux. Primaxx offre une large gamme d'options de processus et peut être adapté aux exigences spécifiques de l'application. Cela comprend la gravure et les cendres, la gravure et le dépôt, ou les combinaisons des deux. Il dispose également d'un atout d'auto-étalonnage qui permet la cohérence du processus de wafer-to-wafer. Le modèle automatisé peut être géré et contrôlé à distance. SPTS Primaxx est un outil de gravure/cendres polyvalent qui offre un excellent rapport coût-performance. Il est adapté à une variété d'applications, de la production en grand volume à la recherche exploratoire. Ses fonctionnalités puissantes et son contrôle automatisé des processus en font un choix idéal pour l'industrie des semi-conducteurs.