Occasion SPTS Sigma Fx P300 #9289687 à vendre en France
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ID: 9289687
Style Vintage: 2015
System
(2) HSE
Etch chamber
(3) Process chambers
MWD Degas chamber
MWD Degas chamber height: 2.5m
(2) Transport chambers / Load lock chamber
TM Chamber
OTF Sensor
(3) EFEM Load ports
Dual blade for high throughput
Labyrinth chambers
(4) Dry pumps:
iGx 600N
(3) iGx 100L
2015 vintage.
SPTS Sigma Fx P300 est un équipement de graveur et asher conçu pour le traitement des semi-conducteurs et des applications nanotechnologiques précises. C'est un puissant évaporateur e-faisceau avec des positions de faisceau précises indépendantes pour la gravure, la pulvérisation et d'autres processus. Ses caractéristiques comprennent un système de reconnaissance d'image haute résolution avec filtres de convolution et reconnaissance de motifs. Le P300 est construit avec une chambre en deux parties qui présente une construction unique de style enveloppe vide pour assurer l'intégrité du vide. Cette architecture de chambre permet également de réduire les pertes de pompage et de réduire le piégeage des particules en assurant une séparation bien définie entre les environnements de travail vide et non polluant. Sigma Fx P300 utilise une conception multi-sources qui permet d'effectuer simultanément plusieurs processus de dépôt et de gravure. Cette unité dispose également d'un étage automatisé et de multiples interfaces de substrat, pour permettre une large gamme de configurations. Des composants tels qu'une machine de transfert, un bras robot et un convoyeur sont disponibles pour permettre un environnement de production à grande échelle. L'outil P300 est conçu pour gérer diverses tâches, telles que le dépôt et la gravure de couches métallisées et diélectriques, la création et le dépôt de structures diélectriques, et la fixation 3D de réseaux de structures dans des applications à haute fréquence. Il dispose d'un actif sous vide capable de gérer un large éventail de pressions de processus qui vont de l'ultra-haut vide (UHV) à l'atmosphère. En outre, le P300 dispose d'un algorithme de montage de courbe basé sur Monte Carlo sous le contrôle de l'utilisateur qui permet d'ajuster facilement les recettes pour différents processus. Une interface pour concevoir des outils tels que CAO et les attributs de physique fournit également un grand contrôle sur la fabrication de recettes de processus. Le modèle a aussi des traits de contrôle d'humidité et de température et peut être employé dans les environnements Class1 cleanroom. Son équipement d'alarme complet et son suivi d'entretien offrent des fonctionnalités d'entretien préventif et soulèvent des alarmes si nécessaire. Le SPTS Sigma Fx P300 est un graveur et asher puissant et fiable adapté aux applications en nanotechnologie et ses fonctionnalités complètes en font un excellent choix pour le traitement des semi-conducteurs.
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