Occasion SSEC Evergreen Series II 203 #9260711 à vendre en France
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ID: 9260711
Taille de la plaquette: 6"
Photoresist wafer etchers, 6"
Chemical storage
Wafer transfer cabinet
Transfer cabinet
Stainless steel
Recirculating chillers
With (2) pumps / LG HPC Coolers.
SSEC Evergreen Série II 203 est un graveur/asher conçu pour le traitement intégré des plaquettes clients. Ce dispositif est destiné à fournir une solution rentable pour des applications de plaquettes telles que le transfert de motifs, la gravure, le dépôt de couches minces et la métrologie, permettant une fabrication de plaquettes à haut débit. La Série II 203 est basée sur la plate-forme fiable et durable Evergreen Série II, et dispose en outre d'un système de manutention des plaquettes de haute précision pour assurer un traitement transparent et efficace des plaquettes clients. La Série II 203 utilise la technologie à entraînement direct pour obtenir une précision et une qualité de production accrues. Ce graveur/asher haute performance et économe en ressources utilise des commandes de mouvement intégrées précises et précises et une technologie à entraînement direct pour fournir une qualité optimale et reproductible dans le traitement des plaquettes clients. En outre, le dispositif utilise un procédé avancé de dépôt et de gravure en phase vapeur préchauffée (PPVE), qui permet la production de caractéristiques extrêmement minces et densément emballées sur les plaquettes du client. La Série II 203 est équipée d'un système fiable de manutention robotisée des plaquettes à 10 positions, faisant du traitement de plusieurs plaquettes une brise. De plus, il dispose d'un système efficace de gestion de l'interface des panneaux de flux (FPI-MS), qui permet la surveillance et l'analyse continues des activités du processus en temps réel. Cette fonctionnalité permet un réglage rapide et automatique du programme de wafer pour les besoins spécifiques des clients. Le dispositif dispose d'une chambre en acier inoxydable durable, avec un taux de vide allant jusqu'à 10 + 5 torr. En outre, il est livré avec une fenêtre à quartz intégrée et des capteurs embarqués pour la surveillance de la température. La Série II 203 est également livrée avec une gamme de technologies exclusives pour assurer la plus haute qualité et l'uniformité des matériaux en cours de traitement. Ces technologies comprennent le gaz porteur, la dérive des procédés, l'optimisation des lots de plaquettes et une fonction avancée d'enregistrement des données. En termes de sécurité, la Série II 203 est équipée d'une multitude de caractéristiques de sécurité avancées. Il utilise des emboîtements, des systèmes anti-collision et des mécanismes de sécurité en cas de défaillance pour assurer la sécurité du personnel et des plaquettes. Enfin, le dispositif est conçu avec une gamme d'interfaces et de commandes conviviales pour rendre le fonctionnement et la maintenance du dispositif facile et sans tracas.
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