Occasion STS / CPX MESC Multiplex #9308839 à vendre en France
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ID: 9308839
Taille de la plaquette: 4"-6"
Style Vintage: 1998
ICP Etcher, 4"-6"
Wafer material: Si / Glass / QUARTZ
Process film: Silicon, poly-Si
Process gases: SF6, O2
Etch rate: 1 ~ 5 µm
Transfer gate width: 3 ~ 5 cm
(2) Dry pumps missing
Power supply: 220 V, 60 Hz, 3-Phase
1998 vintage.
STS/CPX MESC Multiplex est un puissant graveur et asher utilisé pour graver et aspirer une large gamme de matériaux dans la fabrication d'une variété de dispositifs électroniques, semi-conducteurs et médicaux. Il utilise des procédés avancés de gravure et de cendrage en plusieurs étapes qui réduisent considérablement le temps de traitement et améliorent la qualité du produit fini. STS MESC Multiplex dispose de gravure rapide et précise et ashing de matériaux tels que l'or, le cuivre, l'aluminium, le tungstène, le silicium, le plomb, et beaucoup d'autres. Il utilise une technique brevetée multi-étapes qui grave d'abord un matériau donné puis cale rapidement le matériau gravé sans laisser de résidus ou de traces indésirables. Cela garantit que tous les matériaux sont gravés et aspergés à une profondeur précise, cohérente et uniforme dans un cycle extrêmement court. CPX MESC Multiplex est équipé de fonctionnalités qui offrent un contrôle précis de la composition chimique des processus de gravure et d'ashing. La composition chimique demandée de la réaction est déterminée et ajoutée à la chambre de réaction avant le début du cycle de gravure ou de cueillette. Cela garantit que chaque procédé est accordé avec précision à chaque matériau individuel. MESC Multiplex est conçu et construit pour s'adapter aux différents besoins de production. Il peut accueillir des plaquettes de taille standard et jusqu'à 4 "(petites plaquettes) simultanément pour une production à grande échelle. En outre, STS/CPX MESC Multiplex est équipé de plusieurs accessoires avancés tels que les systèmes de serrage, la fontaine à cartouche, le contrôle du liquide de refroidissement humide et l'atténuateur micro-ondes pour améliorer la qualité et la cohérence du processus. STS MESC Multiplex est également équipé de HMI convivial (Human Machine Interface) qui surveille et contrôle l'ensemble du processus de gravure et de cueillette. L'interface graphique affiche les profils de gravure et d'ashing de chaque étape du processus et permet aux opérateurs de faire des ajustements rapides et précis pendant le cycle. Dans l'ensemble, CPX MESC Multiplex est une machine de gravure et de cueillette extrêmement puissante et efficace pour un large éventail d'applications. Ces procédés de gravure et de cendrage évolués en plusieurs étapes offrent un contrôle et une précision inégalés en combinaison avec les temps de cycle rapides pour réduire considérablement les temps de processus et fournir des produits finis de qualité supérieure.
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