Occasion STS / CPX Multiplex ASE ICP #9179213 à vendre en France

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ID: 9179213
Taille de la plaquette: 6"
Etcher, 6" Manual load Single wafer load lock Standard rate ASE PFEIFFER TMH 100PC Turbo pump TCP 600 Controller RF Trolley ENI ACG3 300W RF Power supply for lower electrode ACG10B 1000W RF Power supply for upper electrode Tuner Remote gas box: (4) MFCs (Ar,O2, SF6, C4F8) 208V.
STS/CPX Multiplex ASE ICP etcher/asher est un outil très avancé pour graver et ashing wafers. Il s'agit d'un équipement multi-zones qui permet d'effectuer différents processus de gravure et de cueillette dans différentes chambres simultanément. Le système est équipé d'une alimentation haute fréquence et de systèmes de contrôle numérique sophistiqués, qui donnent à l'utilisateur le contrôle complet sur le processus de gravure et de cendres. STS Multiplex ASE ICP etcher/asher est une unité très efficace qui offre à la fois la gravure par plasma inductif (ICP) et le cendrage. Il a été conçu pour fonctionner précieusement et en permanence à haute pression, offrant ainsi une finition et une homogénéité supérieures. La source de plasma de la machine et le réseau d'adaptation RF intégré sont soigneusement conçus pour minimiser la dilution d'hydrogène dans le plasma, contribuant à assurer un profil de film très lisse. La chambre ICP de CPX Multiplex ASE ICP etcher/asher est également conçue pour accueillir les densités de puissance élevées et le fonctionnement à haute pression, ce qui la rend idéale pour les travaux de gravure les plus complexes. Il dispose d'une doublure en cuivre, qui aide à réduire la capacité parasite et améliore la répétabilité et le contrôle de la jauge du processus de gravure. En outre, les bandes murales spécialement conçues pour la chambre assurent une couverture complète à 360 degrés de la zone de gravure. Le multiplex ASE ICP etcher/asher est équipé d'un outil d'imagerie numérique haute résolution qui permet de surveiller et de mesurer avec précision la forme et le profil de la plaquette pendant le processus de gravure. Cet atout permet également à l'utilisateur de stocker et de rappeler les résultats et de les utiliser pour surveiller les processus de gravure au fil du temps. STS/CPX Multiplex ASE ICP etcher/asher est un outil très fiable capable de fournir des résultats de haute qualité en temps opportun. Il fournit une plate-forme avancée pour la gravure et l'ashing d'une grande variété de plaquettes, permettant de réaliser des processus très complexes rapidement et efficacement. Cela rend le modèle idéal pour des applications dans une variété de secteurs industriels, médicaux et automobiles.
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