Occasion STS / CPX Multiplex #293824464 à vendre en France

STS/CPX Multiplex est un équipement de gravure plasma spécialement conçu pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Cet outil polyvalent peut traiter une grande variété d'applications, de la lithographie haute densité à la gravure d'oxyde basse tension. STS Multiplex utilise un système de traitement multi-étapes révolutionnaire pour assurer un contrôle précis de la composition et de la température des gaz de gravure, ce qui permet à l'utilisateur d'adapter les paramètres de gravure à ses besoins spécifiques. CPX Multiplex se compose de deux ou quatre chambres de traitement indépendantes, contrôlables de façon indépendante et aptes au vide. Ceci permet à l'utilisateur de pré-traiter les substrats par des procédés CVD ou sputter avant gravure et d'effectuer des traitements post-gravure tels que la passivation et le dépôt. Pour optimiser encore les conditions de traitement, Multiplex offre également la possibilité de se connecter aux services centraux de gaz et de vide, permettant à l'utilisateur de contrôler automatiquement la concentration et la température du gaz à l'aide d'une interface LabView. Multiplex STS/CPX propose trois méthodes de gravure différentes. La première option est une gravure de plasma de gaz combiné haute densité et haute température (CGP). Cette méthode repose sur un transport efficace de fortes concentrations d'oxygène, He et Ar vers le substrat pour créer des sites de valences actives et assurer un motif de gravure uniforme et homogène. La deuxième option est une gravure d'ozone à basse densité et à basse température (OZ). Cette méthode émet des molécules d'ozone de manière contrôlée afin de créer des « poches de gravure » pour une gravure plus profonde. Pendant ce temps, la troisième option de gravure est une gravure oxygène-ion à basse température (OI). Cette méthode de gravure est utilisée lorsque la gravure ultra-peu profonde est nécessaire, ainsi que lorsque la profondeur de gravure extrêmement cohérente est recherchée. Les trois méthodes sont protégées par une cloche à quartz à haute température et étanche aux fumées. En outre, l'unité multiplex STS est équipée de capteurs de sécurité de pointe et d'une surveillance en temps réel pour garantir un processus de gravure sûr et fiable. Il s'agit notamment des capteurs de surveillance des gaz, des détecteurs de fuites, des capteurs à oxygène, des moniteurs de vitesse et des moniteurs de température. En outre, la machine comprend également un outil intégré de manutention des plaquettes qui permet le transfert et le chargement des plaquettes. Dans l'ensemble, CPX Multiplex est un outil de gravure puissant et polyvalent qui permet aux utilisateurs d'adapter le processus de gravure à leurs besoins spécifiques. Ceci en fait un choix idéal pour toute lithographie semi-conductrice ou application de gravure profonde.