Occasion STS / CPX Multiplex #9095065 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9095065
Taille de la plaquette: 3"-8"
Style Vintage: 2001
RIE System, 3"-8"
Load lock
PC Controlled RIE process chamber
Power distribution cabinet
RF Rack
Remote gas box
Chiller
Includes:
LEYBOLD HERAEUS Ecodry L rotary pump
MESC RIE SC100M Process chamber
PC Controlled
Intellimetrics
End Point Detector (EPD)
Frame grabber
Electrode temperature control: +5°C to +40°C
Non-clamped electrode
ENI ACG3B RF Supply and matching unit, watt: 30-300 (13.56 MHz)
LEYBOLD Dryvac 50S dry pump
Electrode cooling:
BETTA-TECH CU500 chiller with DI water
Temperature range: +5°C to +40°C
Gas boxes:
Remote R/H Standard (2) PFC1 module
(4) Gas lines
(2) Non-corrosives
(2) Corrosive process gasses
Load lock with EMO
Operator panel with keyboard
Touchscreen lights
Buzzer
Panel for EPD
TFT Monitor, 18"
Multiplex atmospheric cassette system
MACS Module for automated wafer loading
(2) Cassette automatic modes
Manual mode / Cassette to Cassette
Manual wafer load
2001 vintage.
STS/CPX Multiplex est un graveur/asher qui est utilisé pour la préparation de substrat et d'autres procédés similaires. Il utilise une combinaison d'équipement de transfert de substrat (STS) et de technologie d'échange de platine chimique (CPX) afin de produire des modèles à haute résolution qui répondront aux exigences les plus strictes. Il est capable de graver et de soutirer des procédés tels que le transfert de substrat, la résistance à la bande, la passivation, le polissage chimico-mécanique, le transfert de substrat, etc. STS Multiplex dispose d'un système de distribution de gaz de haute précision et multidirectionnel, d'un faisceau ionique de haute sélectivité et de réglages de puissance variable. Cette combinaison de technologie fournit des résultats de gravure et de cendrage à haute résolution avec un impact minimal sur le substrat. Les réglages de puissance variable permettent d'affiner le processus en fonction de l'application et des besoins du client, tandis que le faisceau ionique à haute sélectivité permet une gravure et un cendrage précis. CPX Multiplex est conçu pour obtenir des résultats de la plus haute qualité avec un minimum de déchets, ainsi qu'un faible coût de propriété. Cela passe par la puissance ciblée de l'unité, ses processus avancés et ses mécanismes de contrôle précis. En plus de cela, il est également construit avec des fonctionnalités pour assurer la sécurité et la fiabilité telles que la collecte de poussière, l'étalonnage automatique, et des systèmes de gestion thermique qui aident à s'assurer que la machine fonctionne dans les paramètres requis. Le multiplex est adapté aux applications industrielles et de recherche. Il est capable de traiter un large éventail de substrats, et peut être utilisé en tandem avec d'autres systèmes graveur/asher. En outre, il est capable de gérer des charges utiles importantes et peut réduire les temps de processus jusqu'à 40 %, ce qui se traduit par une efficacité accrue et des économies de coûts. Dans l'ensemble, STS/CPX Multiplex est un graveur/asher qui fournit une solution de gravure et ashing haute résolution pour une variété d'applications. Sa combinaison de technologies fournit des résultats de haute précision avec un minimum de déchets, et ses procédés et systèmes de contrôle avancés garantissent la sécurité et la fiabilité. Sa capacité à traiter des charges utiles importantes permet de réduire les délais de traitement et d'accroître l'efficacité et les économies, ce qui en fait une solution idéale pour les applications industrielles et de recherche.
Il n'y a pas encore de critiques