Occasion STS / CPX Multiplex #9145667 à vendre en France

Un STS/CPX Multiplex etcher/asher est un four de diffusion avec des entrées et des sorties intégrées qui permettent de faire plusieurs étapes de processus dans une unité. Ce type de four offre un équipement unique qui peut traiter une variété de procédés, de la gravure et de la cendre au dépôt épitaxial. STS Multiplex etcher/asher est un outil robuste, fiable et efficace qui peut être utilisé pour produire des structures et des dispositifs complexes. CPX Multiplex etcher/asher est composé de plusieurs modules connectés et indépendants qui fonctionnent à l'unisson pour effectuer divers processus de gravure et ashing. Chaque module contient un système de transfert de plaquettes, une chambre de traitement, une unité d'échappement et une machine de distribution de gaz. L'outil de transfert des plaquettes est responsable du chargement et du déchargement des plaquettes dans leurs chambres de traitement respectives. Les chambres de procédés sont construites avec des corps en alliage, des garnitures d'isolation et des éléments chauffants qui sont utilisés pour chauffer les gaz et favoriser le dépôt. L'actif d'échappement est conçu pour recueillir et filtrer les particules résiduelles, les matières organiques volatiles et les gaz de transformation des chambres de procédés afin d'assurer un environnement de travail sûr et conforme. Enfin, le modèle de livraison de gaz est responsable de l'introduction de gaz de procédé et de précurseurs dans les chambres de procédé pour les différents procédés de gravure et de cueillette. Multiplex etcher/asher peut fonctionner à des températures comprises entre 200 et 350 ° C et offre un contrôle supérieur sur tous les paramètres du processus, tels que les débits de gaz, la température, la pression et la puissance. La température et la pression peuvent être ajustées en contrôlant la température de la chambre, ainsi que la pression du gaz de procédé. En outre, chaque chambre de procédé est équipée d'un orifice d'entrée et de sortie pour permettre l'introduction de gaz réactifs et l'échappement des gaz usés. En outre, les capacités de multiplexage de STS/CPX Multiplex etcher/asher lui permettent d'effectuer plusieurs étapes de processus au sein d'une même unité, qui sont contrôlées via le contrôleur de machine. Le contrôleur peut également être utilisé pour programmer des recettes automatiques pour divers processus, permettant des résultats reproductibles et cohérents avec un minimum de temps d'arrêt. STS Les capacités multiplex de CPX Multiplex etcher/asher offrent une flexibilité et des économies considérables. Les multiples processus qu'il peut réaliser au sein d'une même unité le rendent très polyvalent et rentable pour divers scénarios de production. Il peut aider à réduire à la fois le temps de manipulation des plaquettes et les temps de cycle, ce qui permet à l'utilisateur d'économiser du temps et de l'argent. Cela fait de Multiplex etcher/asher un excellent choix pour les entreprises qui recherchent un four de diffusion fiable et économique.