Occasion STS / CPX Multiplex #9145738 à vendre en France

STS / CPX Multiplex
Fabricant
STS / CPX
Modèle
Multiplex
ID: 9145738
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2003
High rate deep silicon ICP etcher, 6" Multiplex atmospheric cassette system (MACS) Advanced silicon etch (ASE) with bosch process HR Chamber for high rate etch Capable : 100mm-200mm MACs Loader for cassette to cassette operation (2 load stations) Load lock pump : iQDP80 Chamber pump : iQDP40-QMB250 Chiller : Tektemp TKD200/5118TL 2μm Trench width etched to 20μm deep >3.5μm Photoresist mask thickness 20μm Deep si etch. Uniformity across a wafer : <±5% Uniformity wafer to wafer : <±5% Selectivity (Si:PR) : >50:1 Selectivity (Si:OX) : >100:1 Average Si etch rate : >3μm/min Profile : 90o±1o Undercut : <0.4μm Per edge 50um Trench width etched to 400um deep >8μm Mask thickness >400μm Deep Si etch to wafer back-side etch stop Uniformity across a wafer: <±5% Uniformity wafer to wafer : <±5% Selectivity (Si:PR) : >40:1 Selectivity (Si:OX) : >80:1 Average Si etch rate : >2.5μm/min Profile : 91o±1o 2003 vintage.
STS/CPX Multiplex est un équipement de graveur/asher qui a été conçu pour soutenir les dernières technologies dans les processus de gravure et ashing dans l'industrie de l'impression, de la feuille et de la matrice. Ce système dispose de deux stations d'extensibilité modulaire, permettant aux clients de configurer l'unité pour répondre à leurs exigences de processus spécifiques. La machine dispose de l'ACINETIX® intégré, qui a été développé pour simplifier la configuration du contrôleur et rationaliser l'opération de gravure et d'ashing. L'interface graphique conviviale permet aux clients de configurer les paramètres de processus, de surveiller les performances des outils et de visualiser l'état graphique et les tendances des données. L'ACINETIX® offre également une gamme d'autres fonctionnalités telles que le suivi enregistré, la gestion automatisée des alarmes et les capacités de prototypage rapide. STS Multiplex a été conçu pour une grande vitesse et précision, ce qui a permis d'améliorer les rendements et de réduire les rejets. Il dispose d'une aspiration à double tête et d'un contrôle indépendant des processus, permettant aux utilisateurs de personnaliser et de programmer des cycles de gravure et d'ashing avec précision. Ceci est soutenu par une table X/Y fermée à haute résolution qui permet aux utilisateurs de positionner avec précision le composant pour les processus de gravure et de cueillette. CPX Multiplex a été construit pour maximiser l'efficacité et réduire les temps d'arrêt. Il est équipé d'un banc humide spécifique, d'un module chimique et d'une ventilation des actifs, permettant aux utilisateurs de fonctionner en toute sécurité et dans le respect des réglementations environnementales locales. Le modèle dispose également d'un module intégré de nettoyage en boucle fermée qui aide à réduire les temps de nettoyage, améliore la qualité du produit et élimine le besoin de nettoyage manuel. Le multiplex est compatible avec une gamme de produits chimiques de gravure et d'ashing, aidant ainsi les clients à réduire leurs coûts d'exploitation et d'approvisionnement. Toutes les pièces principales sont également facilement interchangeables, ce qui permet aux clients de réparer et d'entretenir l'équipement rapidement et à moindre coût. En outre, les utilisateurs ont la capacité d'intégrer ce système avec d'autres équipements d'automatisation, aidant les clients à réduire la complexité de l'unité et à gagner du temps et de l'énergie. Dans l'ensemble, STS/CPX Multiplex est une machine fiable et efficace capable de répondre à une série d'exigences de processus. Il est idéal pour les procédés de gravure et de cueillette dans l'industrie de l'impression, du papier et de la filière.
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