Occasion STS / CPX Multiplex #9162410 à vendre en France

STS/CPX Multiplex etcher/asher est un équipement automatisé de gravure et de cueillette de plaquettes. Il est conçu pour asher et graver jusqu'à huit plaquettes simultanément en une seule opération pour une productivité, un débit et un rapport coût-efficacité élevés. STS est construit avec une chambre en acier inoxydable pour fournir un environnement stable et assurer une plus longue durée de vie opérationnelle. Il dispose d'un four à haute température capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1300 ° C et est idéal pour graver et aspirer le silicium et d'autres matériaux. Le système a également des capacités accrues pour ajuster les paramètres du processus, tels que la température, la durée du processus et le débit de gaz. Le processus de cueillette/gravure peut être prédéfini pour chaque recette et surveillé pendant l'exécution. CPX dispose de contrôles de processus avancés, y compris le séquençage automatisé du temps, le profilage de la rampe de température et la gestion de la consigne de processus. Cela permet à l'utilisateur de contrôler avec précision les paramètres du processus tels que le débit, la consigne de température et le temps de cycle. La capacité de programmer une variété de profils thermiques et de température pour la gravure et l'ashing en fait l'un des systèmes de gravure/ashing les plus polyvalents disponibles. STS/CPX utilise une unité de surveillance avancée pour contrôler les processus de cueillette et de gravure. Cela comprend la détection en temps réel de la pression de la chambre, l'affichage des états de la plaquette, l'étalonnage automatique et le réglage de la pression pour des performances optimales de cendrage/gravure, et l'accès direct au contrôle pour le processus de gravure/cendrage. Offrant une homogénéité de température maximale, la machine a également une conception unique de l'outil de manutention de la plaquette qui assure une bonne homogénéité de température dans toutes les plaquettes de la chambre. Cet actif est équipé d'un ascenseur/positionnement commandé par ordinateur pour les plaquettes, et d'un ascenseur/positionnement manuel en option. Dans l'ensemble, STS Multiplex etcher/asher est un excellent choix pour la gravure de plaquettes à haut rendement et à haut débit. Avec ses contrôles de processus avancés, des paramètres précis et des températures uniformes, il est idéal pour une production efficace et fiable.