Occasion STS / CPX Multiplex #9316685 à vendre en France

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Fabricant
STS / CPX
Modèle
Multiplex
ID: 9316685
Taille de la plaquette: 4"-6"
PECVD System, 4"-6" Process: SiO2, Si3N4, A-Si Doping gases: P+/N- Load lock with (2) wafer carousels Low and high frequency RF power.
STS/CPX Multiplex est un équipement avancé de graveur/asher qui est conçu pour répondre aux besoins de l'industrie de la microélectronique de pointe. Ce système utilise de multiples faisceaux ioniques et sources lumineuses laser pour assurer la précision de la gravure et de l'ashing pour de nombreux processus, y compris, mais sans s'y limiter, la gravure tridimensionnelle, la gravure de tranchées profondes, la gravure de lignes fines, la gravure arrière et la gravure profonde. C'est une unité entièrement automatisée, et avec son logiciel de pointe, les utilisateurs peuvent rapidement configurer pratiquement n'importe quel processus de gravure ou d'ashing avec une précision et une précision sans précédent. La machine est constituée d'une chambre principale contenant la source d'ions, la source de lumière laser et d'autres composants nécessaires. La source d'ions est conçue pour permettre la génération de différents faisceaux d'ions pour différents processus tout en concentrant la puissance du faisceau à des zones spécifiques de l'échantillon. La source de lumière laser est utilisée pour créer des formes bidimensionnelles sur la surface de l'échantillon et peut être utilisée pour graver et cendrer. En outre, cette source peut être optimisée pour fournir la puissance laser précisément là où elle est le plus nécessaire, pour améliorer les résultats de gravure et de cendre. Les autres composants de la chambre comprennent un dispositif de montage de plaquettes, un filtre à faisceau d'ions et un outil de refroidissement cryogénique. Un logiciel intelligent basé sur l'interface graphique contrôle le travail de gravure et d'ashing, configurant les paramètres de l'actif en conséquence et contrôlant chaque étape du processus. L'utilisateur peut facilement programmer le travail de gravure/ashing, y compris les opérations telles que l'inclinaison du faisceau, le courant, la vitesse du faisceau, le temps de séjour, et ainsi de suite. STS Multiplex dispose également d'une surveillance précise des gravures in situ et de l'irrigation des procédés, ce qui permet d'effectuer des ajustements au fur et à mesure de la progression du travail pour améliorer encore sa précision. En outre, le modèle est équipé d'une bibliothèque de recettes intégrée, ce qui permet aux utilisateurs de rappeler les processus fréquemment utilisés et d'effectuer d'autres ajustements au besoin. Dans l'ensemble, CPX Multiplex est un équipement de gravure/cendres avancé et hautement capable conçu pour répondre aux besoins de l'industrie moderne de la microélectronique. Grâce à ses faisceaux ioniques multidirectionnels, sa source de lumière laser et ses logiciels intelligents, il peut fournir des résultats extrêmement précis avec un fonctionnement sans entretien de longue durée.
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