Occasion STS / CPX Pegasus #293597735 à vendre en France
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ID: 293597735
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2006
Etcher, 8"
(2) Chambers
Power Distribution Unit (PDU)
Cluster Tool Controller (CTC) Cabinet
(3) Rotary pumps
(2) Turbo pumps
(3) SMC HRZ-001 Chillers
Process module (PM2, PM3):
Source assembly
Lower assembly
Electrode assembly
External component
Gas box
MKS RF Generator, 6.5 kW
MKS / ENI ACG 3B RF Generator, 13.56 MHz
MKS Baratron gauge, 10^-4 to 10^-1 mTorr
MKS 750 Capacitance, 10-760 Torr
BOC EDWARDS Active gauge, 10^-4 mTorr to 10 Torr
Ceramic ESC
Pumpdown, 500 mTorr
APC Valve open
Load lock pump down, 80 mTorr
Gate valve open
Temperature: ±2° C
Forward power: ±1 % Vibration
Ref power: ±1% Vibration
Gases: SF6, C4F8, O2, N2, Ar
Flow rate (±2 % Vibration):
Gas / MFC
C4F8 / 400 SCCM
SF6 / 1200 SCCM
Ar / 500 SCCM
O2 / 200 SCCM
He / -
Transport module (TM):
MX600 Handler
Vacuum Cassette Elevator (VCE)
Safety node
Tracking optics
Inligner
(4) Coolers and (4) heaters:
House water
SMC HRZ-L2-DY DI Water chiller
SMC HRZL-D Silicon oil chiller
Insert heater
Gas tubes has been replaced
Power supply: 380 V, 60 Hz, 160 A
2006 vintage.
STS/CPX Pegasus est un équipement de graveur/asher haute performance offert par le groupe Semflex qui fournit une gamme de procédés de gravure et d'ashing avancés pour une variété de matériaux de substrat. Le système est basé sur les dernières technologies de gravure électromagnétique et de cendrage, et a été conçu pour fournir des résultats cohérents, reproductibles et de haute qualité pour une large gamme d'applications de gravure et de cendrage. L'unité STS Pegasus se compose d'un robot de manutention multi-stations avancé, d'une chambre de gravure, d'un four à cendres et d'un certain nombre de systèmes de contrôle et de surveillance avancés. La machine est capable de travailler avec un certain nombre de matériaux de substrat différents et peut manipuler des plaquettes jusqu'à 500 mm de taille. La chambre de gravure est conçue pour assurer une gravure ultra haute densité, tandis que le four de cueillette est conçu pour offrir des opérations de cueillette à haut rendement, contrôlables et sûres. Le robot multi-bras est utilisé pour transférer des plaquettes entre la chambre de gravure et le four de cueillette. Sa conception sophistiquée est capable de contrôler la rotation de la plaquette, ainsi que d'assurer le séquençage et le positionnement précis des plaquettes tout au long du processus de gravure. Le robot est également capable de reconnaître, charger et décharger des plaquettes et peut contrôler une variété de processus supplémentaires, tels que le nettoyage, l'orientation et l'alignement des plaquettes. L'outil est conçu avec une gamme de caractéristiques de sécurité et de sûreté, y compris des systèmes de régulation de température avancés, des protections de débit d'air et de gaz, ainsi que des dispositifs de surveillance et de sécurité. Ces fonctionnalités permettent de minimiser les risques potentiels lors des opérations de gravure et d'offrir une expérience sûre aux opérateurs. CPX Pegasus actif est également conçu pour maximiser la qualité et l'intégrité des plaquettes traitées en son sein, tout en offrant une grande flexibilité et le contrôle des processus. Avec ses nanotechnologies innovantes et ses systèmes de contrôle avancés, le modèle offre un niveau de précision et de répétabilité sans précédent lors de la gravure et de l'ashing. Toutes ces caractéristiques, ainsi que la polyvalence de l'équipement, en font la solution idéale pour les processus de gravure et d'ashing pour une large gamme de surfaces d'application.
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