Occasion STS Multiplex ICP HR #9272076 à vendre en France
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ID: 9272076
Taille de la plaquette: 6"-8"
Dry etchers, 6"-8"
SI
Advanced Silicon Etch (ASE) With BOSCH Process
MAC Loader
Carousel vacuum load lock
Helium Backside Cooling (HBC)
HBC Assy: ICP V2
Clamp type: Standard WTC
Lower electrode: ICP WTC Tripod lift
No chamber insulation jacket
RF Generators:
ENI GHW-50Z Coil RF Power, 3 kW
ENI ACG-3B Platen RF Power, 13.56 MHz, 300 W
Gases:
C4F8 (200 sccm)
SF6 (1000 sccm)
O2 (2000 sccm)
N2 (500 sccm)
Vacuum system:
Turbo pump: LEYBOLD MAG 2000
Load lock pump: EBARA AA10
Chamber pump: EBARA A30W
AFFINITY PWG-060L-BE27CBD2 Chiller
Power supply: 380 V, 60 Hz, 40 A
2003 vintage.
STS Multiplex ICP HR est un outil de gravure et d'ashing spécialisé qui permet aux utilisateurs de traiter plusieurs substrats ou plaquettes à la fois. Il est facile à utiliser et offre un excellent niveau d'uniformité lorsqu'il s'agit de traiter une variété de types de substrats et de plaquettes. L'appareil est fabriqué en acier inoxydable et possède une impressionnante précision de gravure de 2 microns. Son système contrôlé par ordinateur fournit des processus de gravure efficaces et précis qui peuvent être facilement contrôlés grâce à ses recettes intégrées. En outre, le système offre une large gamme numérique de réglages de recettes qui permettent une grande flexibilité lorsqu'il s'agit de traiter différents types de matériaux. Le matériel de l'appareil intègre une chambre de quartz inerte qui fournit des résultats de gravure améliorés et augmente la flexibilité de l'graveur. Cette technologie, associée à sa technologie EtchSlice™, permet une gravure précise et répétable qui est optimisée pour fonctionner avec une variété de recettes, comme celles qui utilisent des précurseurs Bake-n- Quench™ ou métal-organique. L'ICP HR dispose également d'un contrôle dynamique du balayage, qui permet une optimisation rapide des taux de gravure. Le dispositif offre également une grande tolérance aux variations de vitesse de gravure du silicone, ce qui augmente sa précision et sa précision. Enfin, la couche intégrée de protection de l'environnement (EPL) du PIC-RH garantit que toutes les matières dangereuses sont contenues, rendant ainsi l'appareil respectueux de l'environnement. Ce dispositif facile à utiliser aide à contrôler le processus de gravure et de nettoyage, ce qui donne un taux de gravure reproductible de haute qualité. Le multiplex ICP HR est un excellent ajout à n'importe quelle installation, fournissant un outil fiable qui aidera le personnel de production à graver et à cendrer rapidement et avec précision une grande variété de substrats et de plaquettes. Il offre un grand contrôle sur le processus de gravure, ainsi qu'un moyen sûr et efficace de nettoyer les matières dangereuses.
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