Occasion STS MXP Multiplex ICP HR #9005443 à vendre en France
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ID: 9005443
Advanced Silicon Etcher (ASE)
Process: Silicon etch bosch
Capable, 2"-8"
EDWARDS E2M40 Loadlock pump
PFEIFFER MAG 2000 High vacuum pump
EDWARDS IQMB250 Roughing pump
EDWARDS IQDP80 Roughing pump
ENI / ACG-3B RF Generator
ADVANCED ENERGY RFG 3001 RF Generator
Loadlock
(4) Gases
HUBER Unistat Chiller, 140 W
Gases: SF6, O2, Ar, C4F8
Balun coil ICP V2
Mechanical clamp
Helium backside cooling
(2) MkIV MPX Carousel, 6"
Power supply: 3 kW, 300/30 W Platen
Purge gas line
E-Rack modules:
HCL1
HCU3
HCU5
VAC3Y
(2) AMC1
HBC2
Operating system: Windows 2000
Power supply: 400 V, 50 Hz, 40 A, 3-Phase
Configured Power supply: 60 Hz, 208 / 460, 3-Phase
CE Marked
2003 vintage.
STS MXP Multiplex ICP HR est un etcher/asher avancé et haute résolution conçu pour combler l'écart entre plusieurs processus. Il profite des processus haute résolution, multiplexage et ICP (plasma inductif couplé) pour maximiser la précision, le rendement et le débit. Les capacités de haute résolution de la machine sont rendues possibles par son équipement d'imagerie de pointe. Ce système est capable d'ajuster la résolution de gravure en fonction de l'application, permettant des résolutions jusqu'à 18um (microns). Il dispose également d'une unité d'alignement automatisé et d'optimisation des processus pour assurer l'uniformité des gravures. Le procédé de multiplexage permet de traiter simultanément une grande quantité de plaquettes, réduisant la variation du procédé et augmentant le rendement. Le processus du PCI crée un taux de gravure puissant et plus cohérent que les autres méthodes de gravure, ce qui est très bénéfique pour les applications critiques et semi-conductrices. L'etcher/asher est également livré avec d'excellentes fonctionnalités matérielles qui le rendent encore plus puissant. Sa grande machine de chargement automatisée facilite le traitement de plusieurs plaquettes en une seule fois. Il est également livré avec une chambre spéciale, fermée ICP, qui maintient l'environnement sans poussière et augmente l'efficacité du processus. Le multiplex MXP ICP HR peut également être intégré dans un environnement de salle blanche. Sa configuration unique permet un niveau plus élevé de contrôle des processus de fabrication, ce qui le rend idéal pour des processus de précision comme ceux qui se trouvent dans les domaines de la production de semi-conducteurs et de dispositifs médicaux. STS MXP Multiplex ICP HR est un excellent graveur/asher, et est utilisé pour un certain nombre de processus de fabrication différents. Ses capacités de haute résolution, de multiplexage et d'ICP le rendent parfait pour les applications où la précision est essentielle. Il est également bien adapté pour les environnements de salle blanche, et est un choix parfait pour tout environnement de production qui nécessite un haut degré de contrôle de processus et de précision.
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