Occasion STS Pro ICP #9294114 à vendre en France
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ID: 9294114
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8"
(2) Load ports, 8" (Can process 25 wafers)
Operating system: Windows
Vacuum load lock:
Carousel load lock, 8" (Can process 2 wafers)
Chamber lid temperature control
Automatic transfer of substrates between load-lock and process chamber
Process chamber:
Turbo pump
Chiller
Single wafer process chamber
VAT Pendulum valve
Backside helium cooling
Remote sealed extracted gas box with welded gas lines
Electronic cabinet
LCD Flat panel monitor
Automatic multistep processing / Manual operation
High frequency RF Generator
Low frequency RF Generator
Vacuum pump (Load lock)
Vacuum pump (Chamber)
ESD Chuck
System cables.
STS Pro ICP est un graveur/asher de pointe qui fournit vitesse et précision pour les processus industriels, scientifiques et médicaux d'application. Cet etcher/asher maintient un rendement de qualité supérieure des conceptions et des mesures dans pratiquement n'importe quel environnement. STS ICP a une tête de fraisage haut de gamme avec une vitesse impressionnante allant jusqu'à 80 000 tr/min. Ses moteurs de haute précision et sa vitesse d'alimentation permettent des travaux de gravure et de cendrage intenses en détails avec des résultats lisses à des rendements élevés. Sa conception à commande pneumatique intègre un écran LCD pour une surveillance pratique des réglages de réglage de la production. STS ICP est également compatible avec une large gamme de largeurs et de profondeurs, allant de 200 à 2000 mm et 3 à 12 mm respectivement, tout en assurant un contrôle précis pendant le processus de production. Il peut également accueillir jusqu'à trois types de conseils pour la gravure dans différentes surfaces. En plus de sa vitesse de production impressionnante et de sa gamme de réglages, STS ICP dispose également de systèmes à double assistance sous vide qui assure la précision et empêche l'oxydation des surfaces cendrées. STS ICP est livré avec un système de vision intégré qui aide à l'alignement et au centrage automatisés, en tenant compte de chaque détail avec une extrême précision. Il est également équipé d'un galvanomètre et d'un contrôle de pointe refroidi à l'eau pour une précision et une répétabilité accrues. En utilisant le matériel high-tech et les logiciels sophistiqués de STS ICP, ses utilisateurs peuvent être sûrs d'avoir accès aux solutions de gravure et d'ashing les plus fiables et précises disponibles. Ce produit est adapté à un large éventail d'utilisations en microscopie, dispositif médical, optoélectronique, microélectronique, et d'autres applications techniques et scientifiques. Avec sa précision imbattable, son temps de traitement rapide et sa construction durable, STS ICP est l'outil parfait pour tout environnement industriel.
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