Occasion STS Pro ICP #9361815 à vendre en France
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ID: 9361815
Taille de la plaquette: 2"-4"
Style Vintage: 2008
Etcher, 2"-4"
Process: InP etch
EDWARDS IH80 Pump
LEYBOLD HERAEUS Turbo pump
VARIAN Scroll pump on load lock
Gases: N2, O2, Cl3 and Argon
Clamp type: SEMCO ESC
Single chamber
2008 vintage.
STS Pro ICP est un graveur/asher conçu pour la production industrielle à haut débit. Il est équipé de caractéristiques avancées, telles que les paramètres de processus réglables, la sélectivité de la couche, et le chauffage de la chambre basse, qui permettent un contrôle précis des recettes de processus. La plate-forme utilise la technologie de chauffage par induction RF, qui lui permet de fonctionner dans une gamme de fréquences allant de 0,1 à 1000 MHz. La puissance maximale de traitement est de 700 W, tandis que la plage de température maximale est de 700-1200 ° C L'équipement est programmable pour soutenir une variété de recettes de processus, y compris la gravure à sec et le cendrage, le traitement par voie humide et sèche, le dépôt d'oxyde et la gravure à couche supérieure. Il comprend également des fonctionnalités avancées telles que le profilage en lit et la gravure plasma haute performance. Le contrôleur intégré dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive, rendant le système facile à utiliser et à configurer. Le logiciel facile à utiliser offre une large gamme d'options flexibles de paramétrage des processus, tandis que les algorithmes avancés de contrôle des processus permettent une excellente stabilité et répétabilité des processus. Pro ICP comprend une série de fonctions de sécurité, ainsi que des interactions et des fonctions de surveillance complètes. Il est équipé d'une unité de diagnostic pour faciliter le dépannage et la maintenance préventive. En outre, la machine peut être utilisée dans un certain nombre de configurations d'automatisation, y compris un outil en ligne pour la production continue et un actif de lot pour une plus grande flexibilité et le suivi des tâches. Le modèle est extensible pour répondre aux exigences de débit et de polyvalence de différentes applications. Dans l'ensemble, STS Pro ICP est un graveur et asher fiable, convivial et adapté à la production industrielle à haut débit. Les fonctionnalités avancées, les caractéristiques de sécurité et les capacités d'automatisation offrent une flexibilité accrue et une meilleure maîtrise et répétabilité des processus.
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