Occasion STS / SPTS Multiplex ASE #293748021 à vendre en France

STS/SPTS Multiplex ASE est un équipement de pointe de graveur/asher de plasma conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Cet outil offre des capacités de processus avancées et un débit élevé pour les étapes critiques de gravure et de cueillette dans la fabrication de semi-conducteurs. Le système est hautement configurable, ce qui permet aux utilisateurs d'adapter les paramètres de processus pour un large éventail d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. STS Multiplex ASE plate-forme est équipée de plusieurs chambres de processus qui peuvent être configurés pour les processus de gravure et d'ashing. Cette flexibilité permet une transition harmonieuse entre les différentes étapes du processus sans nécessité de reconfiguration de la chambre, améliorant la productivité globale et réduisant les temps d'arrêt. L'unité est conçue pour fournir un traitement plasma précis et uniforme sur toute la surface de la plaquette, assurant des résultats de gravure et d'ashing cohérents pour une fabrication à haut volume. Une des caractéristiques clés de SPTS Multiplex ASE est ses capacités avancées de contrôle des processus. La machine est équipée d'une gamme de capteurs et d'outils de surveillance qui permettent le suivi et l'optimisation des processus en temps réel. Cela garantit que les paramètres critiques du processus tels que la densité du plasma, la température et la pression sont maintenus dans des tolérances serrées, ce qui donne des performances de processus répétables et fiables. L'outil dispose également de capacités avancées de détection d'endpoint, permettant un contrôle précis de la gravure ou du processus de cueillette pour obtenir les résultats souhaités. La plateforme multiplex ASE est conçue pour traiter un large éventail de matériaux couramment utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, y compris le silicium, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium et divers films métalliques. L'actif offre une gamme de gaz de procédés et de produits chimiques pour répondre à différentes combinaisons de matériaux et exigences de procédés. Les utilisateurs peuvent facilement personnaliser les recettes de processus pour atteindre des taux de gravure spécifiques, la sélectivité et le contrôle de profil pour une variété de structures d'appareils. STS/SPTS Multiplex ASE est conçu en tenant compte de la productivité et de la rentabilité. Le modèle est doté d'un équipement de manutention rapide des plaquettes qui permet le chargement et le déchargement rapides des plaquettes, la réduction des temps de cycle et la maximisation du débit. La plate-forme est également conçue pour faciliter la maintenance, avec des composants modulaires qui peuvent être rapidement remplacés ou mis à niveau pour minimiser les temps d'arrêt et les coûts de maintenance. En plus de ses capacités de processus avancées, STS Multiplex ASE plate-forme est également hautement configurable pour répondre aux besoins spécifiques de différentes applications de semi-conducteurs. Le système peut être équipé de modules supplémentaires pour le nettoyage de surface, la passivation et d'autres étapes avancées du processus pour soutenir le développement de dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération. L'outil est compatible avec les interfaces d'automatisation standard de l'industrie, permettant une intégration transparente dans les flux de travail existants de fabrication de semi-conducteurs. Dans l'ensemble, SPTS Multiplex ASE est une unité de graveur/asher plasma polyvalente et performante qui offre un contrôle avancé des processus, un débit élevé et une large gamme d'options de personnalisation pour la fabrication de semi-conducteurs. Grâce à ses capacités avancées et à ses fonctions d'amélioration de la productivité, la plateforme Multiplex ASE est bien adaptée aux exigences exigeantes des procédés modernes de fabrication de semi-conducteurs.