Occasion TECHNICS DR 5100 #177471 à vendre en France

TECHNICS DR 5100 est un graveur/asher haute performance conçu pour prendre en charge les exigences de gravure et d'ashing dans le processus de production des circuits intégrés (IC). Il utilise une source laser multi-faisceau excimère avec la technologie d'alignement automatique des faisceaux pour obtenir une grande uniformité de gravure sèche dans toutes les zones du CI, permettant d'améliorer les performances du dispositif. DR 5100 est un équipement entièrement automatisé avec un fonctionnement convivial, permettant des processus précis et reproductibles dans IC fabs avec des exigences minimales en personnel. Il dispose d'un alignement de motif de haute précision pour des résultats précis, avec des paramètres de processus automatiques pour des résultats optimaux. La plate-forme peut être adaptée pour différents motifs de gravure tels que flèche, anisotrope, mesa et blanking. La machine dispose de deux chambres de traitement de gravure et de cueillette indépendantes pour permettre la gravure et la cueillette simultanées du même système. La machine fournit un contrôle de profondeur de gravure de haute précision, une profondeur de gravure réglable et des vitesses de cendres, des paramètres de processus de gravure réglables avec précision et un contrôle précis de la ration d'aspect. L'unité de pompage de TECHNICS DR 5100 se compose de deux étages d'une pompe turbomoléculaire et d'une machine circulaire de purge et de purge de l'azote, assurant un vide parfaitement propre. Il est équipé d'une source laser UV précise et peut être contrôlé sur Ethernet ou RS232. L'outil a la capacité de surveiller et de contrôler le CI en cours de production avec une caméra, couplée à un atout de surveillance des signaux envoyés par le module de processus. Cela permet une rétroaction de processus en temps réel, et la surveillance en temps réel de la température de la plaquette, de la pression d'azote et de la profondeur de gravure. C'est une plate-forme idéale pour un IC fab désireux d'augmenter leur débit et d'améliorer le processus de production. DR 5100 est un graveur/asher fiable, robuste et puissant conçu pour répondre à toutes les exigences de gravure et d'ashing des circuits intégrés.