Occasion TECHNICS Micro RIE 800 #9124004 à vendre en France
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ID: 9124004
Table top system
For parallel plate plasma processing
300W RF Power supply with matchbox
(3) MFC Process gas controls
(2) 100 sccm
25 sccm
RIE Bottom electrode SST chamber, 9”
Electrodes water chiller:
Electrode cooling inert fluid prepared pump
Oil filtration system.
TECHNICS Micro RIE 800 est une machine de gravure et de cendrage conçue pour être utilisée dans des procédés de haute précision. La machine est conçue pour un contrôle précis et répétable du processus de gravure et de cueillette, fournissant un contrôle ultime des paramètres de gravure et de cueillette. Il utilise un mandrin électrostatique pour maintenir solidement les substrats en place lors des opérations de gravure et de cueillette. Cet etcher/asher a une excellente norme de performance en raison de ses caractéristiques de conception uniques. Il dispose de quatre postes électrostatiques indépendants avec des réglages de pression de chambre réglables, permettant à l'utilisateur d'optimiser les réglages pour chaque travail individuel, ce qui entraîne une augmentation du débit, des économies et une diminution de l'usure. Son système d'imagerie thermique haute résolution, ainsi que son logiciel, permettent à la fois la gravure de haute précision et le cendrage avec uniformité et répétabilité. Le couvercle de chambre dispose également d'une gestion intégrée du refroidissement, permettant d'améliorer l'uniformité, la répétabilité et la précision des processus. Ce modèle est conçu pour des applications spécifiques dans les industries des semi-conducteurs, de la microélectronique et des bio-puces. Il offre une variété de capacités individuelles et multiples de gravure et de cendrage de substrat, ainsi que la capacité d'ajuster les paramètres de processus en fonction de l'application. Il dispose également d'une fonctionnalité pour la reconnaissance rapide de motifs individuels de plaquettes, ce qui offre à l'utilisateur la possibilité d'optimiser les paramètres de processus de gravure. Sur le plan technique, le Micro RIE 800 a une résolution de 25 μ m et est compatible avec une gamme de matériaux tels que le silicium/dioxyde de silicium, la silice, l'oxyde d'aluminium, le tungstène et le titane. Avec une alimentation triphasée à faible inductance, il nécessite des exigences de basse pression inférieures à 10 mT, assurant un contrôle de précision et une répétabilité du processus. Il a également une alimentation en gaz à faible induction, protège les électrodes de la contamination, et assure des résultats de gravure/cueillette de haute qualité. Dans l'ensemble, TECHNICS Micro RIE 800 est un graveur/asher fiable et de haute précision avec une variété de fonctionnalités avancées qui le rendent adapté à une variété d'applications dans les industries des semi-conducteurs, de la microélectronique et de la bio-puce. Sa résolution, sa répétabilité et sa précision garantissent la qualité des utilisateurs et améliorent le contrôle des processus, ce qui se traduit par de faibles coûts d'exploitation, une augmentation du débit et des économies.
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