Occasion TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC #293754150 à vendre en France
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TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC est un équipement de graveur/asher haute performance conçu pour le traitement plasma précis et efficace de divers matériaux utilisés dans les industries des semi-conducteurs, de la microélectronique et de la science des matériaux. Ce système plasma de pointe est équipé d'une technologie de pointe pour fournir un contrôle de processus, une répétabilité et une fiabilité supérieures pour un large éventail d'applications. Principales caractéristiques et spécifications : 1. Source de plasma : 300 PC sont équipés d'une source de plasma robuste capable de générer des espèces plasmatiques très réactives pour les processus de gravure et de cueillette. La source de plasma est réglée pour fonctionner à différentes fréquences et niveaux de puissance pour répondre à différents types de matériaux et exigences de processus. 2. Chambre de procédé : L'unité dispose d'une chambre de procédé à vide élevé conçue pour une distribution uniforme du plasma et des réactions efficaces en phase gazeuse. La chambre est faite de matériaux résistants à la corrosion pour résister à des environnements plasmatiques durs et faciliter le nettoyage et l'entretien. 3. Machine de distribution de gaz : L'outil de graveur/asher est équipé d'un atout précis de distribution de gaz pour alimenter les gaz réactifs dans la chambre de processus à des débits et pressions contrôlés. Ceci assure un contrôle précis de la chimie du plasma et des taux de gravure/cueillette pour une performance optimale du procédé. 4. Manipulation des substrats : TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC supporte différentes tailles et types de substrats, y compris les plaquettes, les substrats en verre et les couches minces. Le modèle est équipé d'un équipement robotisé de manutention de substrat pour le chargement et le déchargement automatisés des substrats, minimisant l'intervention manuelle et améliorant le débit des processus. 5. Alimentation RF : Le système plasma est alimenté par une alimentation RF haute fréquence capable de fournir des niveaux de puissance précis à la source plasma pour contrôler la densité, l'uniformité et la stabilité du plasma pendant le traitement. L'alimentation RF est intégrée à des réseaux d'adaptation d'impédance avancés pour un transfert de puissance efficace et la génération de plasma. 6. Logiciel de contrôle de processus : L'unité etcher/asher est contrôlée par un logiciel sophistiqué de contrôle de processus qui fournit une interface conviviale pour définir les recettes de processus, surveiller les paramètres de processus en temps réel, et optimiser les conditions de processus pour atteindre les résultats de gravure et ashing souhaités. Le logiciel comprend également des outils d'enregistrement et d'analyse des données pour l'optimisation des processus et le dépannage. 7. Caractéristiques de sécurité : 300 PC sont équipés de caractéristiques de sécurité essentielles pour assurer la protection de l'opérateur et l'intégrité de la machine pendant le fonctionnement. Il s'agit notamment d'embrayages, de boutons d'arrêt d'urgence, de détecteurs de fuites de gaz et de soupapes de surpression pour prévenir les accidents et assurer la manipulation sécuritaire des matières dangereuses. Dans l'ensemble, TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC est un outil de pointe de graveur/asher qui combine une technologie plasma de pointe avec une conception robuste et des contrôles conviviaux pour répondre aux exigences exigeantes des applications modernes de traitement des semi-conducteurs et des matériaux. Avec ses capacités de haute performance, son contrôle supérieur des processus et ses caractéristiques de sécurité, cet actif plasma est un choix idéal pour les environnements de recherche et de production nécessitant des solutions de traitement du plasma précises et fiables.
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