Occasion TEGAL 411 #9163033 à vendre en France

TEGAL 411 est un système de gravure/cendres conçu pour le traitement des plaquettes de production. Il est principalement utilisé dans la fabrication de plaquettes pour la réalisation de circuits intégrés. Le graveur a une conception à chambre unique, ce qui permet de réaliser plusieurs niveaux et types d'opérations de gravure et de cueillette en un seul cycle. La 411 a une chambre supérieure et inférieure, avec des sources et substrats supérieurs et inférieurs. Les chambres sont construites en acier inoxydable et présentent des composants conçus pour faire face à des processus très corrosifs, tels que la gravure ionique réactive. Il y a deux zones de chauffage dans chaque chambre, qui permettent un contrôle précis de la température. TEGAL 411 dispose également de mécanismes de transfert à faible perte, qui assurent un alignement de haute précision des substrats lors du traitement. La figure 411 peut être configurée pour effectuer des opérations de gravure et d'ashing sur une gamme de matériaux semi-conducteurs, y compris le silicium, les matériaux semi-conducteurs composés et le silicium polycristallin. Il est capable d'effectuer des opérations avec des masques durs, y compris photorésist et oxyde gravure/cendres. TEGAL 411 supporte également une production à haut débit, avec un temps de cycle de 30 secondes ou moins. La performance du 411 est encore améliorée avec une combinaison de sources de plasma puissantes et avancées et de systèmes électroniques et de faisceau d'ions. Cela permet de réduire les risques de contamination et l'application possible de techniques d'amélioration du débit et du rendement. TEGAL 411 comprend des dispositifs de sécurité tels qu'un détecteur de mouvement et un interrupteur de coupure de température. Ces caractéristiques rendent l'etcher fiable et réduisent les risques de surchauffe ou d'autres problèmes qui pourraient endommager les matériaux ou causer la défaillance du processus. La 411 présente également une faible consommation d'énergie et est bien adaptée aux environnements de production 24/7. En résumé, TEGAL 411 est un système de gravure/cendres conçu pour le traitement des plaquettes de production. Il est capable d'effectuer diverses opérations de gravure et de cendrage sur une gamme de matériaux semi-conducteurs, avec un alignement de grande précision et des mécanismes de transfert à faible perte. Il possède également des caractéristiques de sécurité telles que la détection de mouvement et l'arrêt de température pour une fiabilité accrue. 411 est un système puissant et fiable adapté aux applications actuelles à haut débit.