Occasion TEGAL 415 #5672 à vendre en France

TEGAL 415 est un équipement de graveur/asher de pointe reconnu pour son traitement rapide, reproductible et ultra fin. C'est l'équipement idéal pour les processus de précision, y compris les structures MEMS, à couches minces et à haut rapport d'aspect dans la gamme micron/nanomètre. La 415 dispose d'une plate-forme modulaire conçue pour la gravure humide et sèche. La gravure humide est un procédé par plasma dans lequel les produits chimiques ou les gaz sont ionisés avec un champ électrique haute fréquence, obtenant une gravure rapide, précise et sélective. La gravure à sec utilise des technologies avancées et très fiables telles que la gravure ionique réactive (RIE) et la gravure plasma pour le contrôle de la profondeur et le traitement de haut rapport d'aspect. TEGAL 415 est capable de produire des caractéristiques précises avec une uniformité ± 3 % sur une plaquette de 4 pouces. Le débit élevé est atteint par des temps de gravure minimum et une optimisation élevée du processus. Des sorties de pression aussi faibles que 0,01 Torr peuvent être obtenues et maintenues pendant le processus de gravure, conduisant à une répétabilité élevée. 415 est un graveur puissant et précis qui est compatible avec un large éventail de matériaux et d'applications. Il utilise une chambre rétractable qui minimise le risque de contamination des particules et un système de chargement frontal qui élimine le transfert des plaquettes. Pour assurer la protection des plaquettes pendant la gravure, l'unité est encastrée avec des signaux électriques et mécaniques qui signalent les conditions de la chambre, y compris la température (jusqu'à 100˚C) et la vitesse. En outre, la machine est équipée d'un outil de sécurité haut de gamme qui comprend l'arrêt automatique du gaz et des lits de serrage à pression variable pour protéger contre l'accumulation de pression et les conditions dangereuses. Cette configuration permet également un entretien et un entretien rapides et faciles. L'interface modulaire et facile à utiliser permet d'exécuter une variété de recettes de gravure en mode lot et en mode wafer unique, ce qui rend cet atout adapté aux environnements de développement et de production. Avec une empreinte minimale et une excellente rentabilité, TEGAL 415 peut s'avérer un excellent ajout à un laboratoire ou à une installation qui traite les structures MEMS, minces et à haut rapport d'aspect.