Occasion TEGAL 415 #9010610 à vendre en France

Fabricant
TEGAL
Modèle
415
ID: 9010610
Plasma asher Aluminum chamber ID 6" x 6" x 10" Options: Direct drive pump Fomblin/Krytox prep (if pumping explosive gas) Reclaimed Fomblin/Krytox oil available.
TEGAL 415 est un graveur/asher de haute performance utilisé pour réaliser une gamme de procédés de gravure/ashing nécessaires à la production de circuits et dispositifs semi-conducteurs. Ce graveur/asher dispose de plusieurs attributs uniques qui le rendent idéal pour une variété de processus de gravure/ashing semi-conducteurs, en particulier ceux qui impliquent la gravure humide et ashing. La caractéristique principale de 415 graveurs/asher est sa capacité à obtenir des résultats de gravure/ashing de haute qualité avec une grande variété de matériaux de substrat, y compris les métaux, le silicium polycristallin, le quartz et le GaN. Ceci est rendu possible grâce à l'ajout de plusieurs logiciels spécialisés pour contrôler le processus. Ces paquets permettent aux utilisateurs d'ajuster les paramètres de gravure/ashing, tels que la pression de gravure/ashing et le timing, pour obtenir les meilleurs résultats possibles. En outre, TEGAL 415 est livré avec un système avancé de contrôle de la température, assurant que tous les processus de cueillette et de gravure sont terminés avec des résultats précis et cohérents. La 415 comprend également une chambre environnementale de pointe, qui contribue à maintenir la température constante et à maintenir les conditions optimales pour les processus de gravure/cueillette. Cette chambre est équipée d'une multitude de capteurs spécialisés qui surveillent les conditions environnementales dans la chambre et ajustent en permanence les paramètres de gravure/cueillette pour assurer les meilleurs résultats possibles. En outre, la chambre d'environnement est conçue pour être résistante à la corrosion et capable de travailler dans une variété de températures différentes par rapport à la gamme normale. TEGAL 415 comprend également un système d'alimentation en gaz, assurant que la pression de gravure/cueillette et le débit de gaz sont maintenus dans la plage optimale pour chaque procédé. Ce système d'alimentation en gaz permet de réaliser les processus de gravure/ashing avec la plus grande efficacité et la plus grande cohérence. 415 est un graveur/asher très avancé, conçu pour compléter les processus de gravure/ashing les plus exigeants avec précision et précision. Ses nombreuses caractéristiques en font un choix idéal pour un large éventail d'applications, de la production de dispositifs semi-conducteurs à la recherche et au développement de pointe.
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