Occasion TEGAL 415 #9187146 à vendre en France

TEGAL 415 est un asher automatisé développé par TEGAL Corporation. C'est un équipement autonome de taille complète qui offre des procédés de nettoyage, de gravure et de dépôt en couches minces. 415 est un système fiable, efficace et rentable, qui a été prouvé adapté à un large éventail d'applications, y compris la fabrication de semi-conducteurs, MEMS, et les dispositifs optoélectroniques. TEGAL 415 se compose d'une boîte de travail robotisée capable de manipuler des substrats jusqu'à 200 mm de diamètre. L'unité est équipée d'un poste de chargement, où le substrat est d'abord chargé dans la machine, puis placé automatiquement sur les plates-formes de gravure et de dépôt en couches minces. L'outil est également équipé d'un contrôleur intégré, qui permet un contrôle précis sur l'ensemble du processus, et assure un traitement cohérent de chaque substrat. La 415 comporte deux chambres de gravure indépendantes. La première chambre est optimisée pour le nettoyage de la filière et la gravure d'images, tandis que la deuxième chambre est optimisée pour la corrosion, l'élimination de l'oxyde et la gravure des plaquettes traversantes. Les chambres de gravure sont contrôlées en température et en pression, et sont capables d'atteindre l'uniformité, la répétabilité et la précision critiques du processus. TEGAL 415 comprend également une plate-forme de dépôt à couches minces. Cette plate-forme est capable de produire des couches très fiables avec une rugosité de surface faible. Il est équipé d'étages de mouvement rotatifs et linéaires, ainsi que de deux sources e-beam distinctes pour le revêtement des substrats. L'actif est également capable de traiter simultanément plusieurs substrats, ce qui en fait un excellent choix pour les études d'échelle de production. Dans l'ensemble, 415 est un asher/etcher fiable et rentable. Il est capable de traiter un large éventail d'applications, y compris la fabrication de semi-conducteurs, MEMS, et les dispositifs optoélectroniques. Son contrôleur avancé assure précision et répétabilité dans le traitement de chaque substrat. Et ses deux chambres de gravure indépendantes et sa plate-forme de dépôt en couches minces sont capables de produire des résultats fiables et cohérents. C'est une solution idéale pour tout processus de production de semi-conducteurs.