Occasion TEGAL 515 #293655082 à vendre en France

TEGAL 515 est un graveur/asher, utilisé pour une gamme de procédés dans l'industrie de la fabrication électronique. Il offre des capacités de dépôt et de gravure pour une variété de matériaux tels que Si, SiO2, SiN, WSi2, alliages métalliques et autres matériaux conducteurs et non conducteurs. La 515 est spécifiquement conçue pour traiter les processus de production à haut volume. Il est équipé d'un ensemble de fonctionnalités qui facilitent le traitement efficace. Ces caractéristiques comprennent les dépôts à grande vitesse et les taux de gravure, qui permettent un débit optimisé ; un contrôle précis des paramètres du processus, tels que la pression, la température et le débit de gaz ; et un équipement de contrôle avancé avec surveillance en temps réel de tous les paramètres. L'etcher/asher offre également une flexibilité de procédé, avec la possibilité d'utiliser une variété de gaz de trempe, ainsi qu'un mélange de deux ou plusieurs pour des procédés plus complexes. Il dispose également d'un système de manutention automatique des plaquettes de précision, avec une unité vectorielle en attente de brevet qui permet un contrôle précis de la position de la plaquette par rapport à l'outil de gravure, ainsi qu'une pompe à soufflet de haute précision pour maintenir la pression optimale lors du dépôt. TEGAL 515 est également livré avec une gamme d'autres fonctionnalités qui rendent une expérience conviviale. Ceux-ci comprennent des écrans d'interface graphique intuitifs, des recettes de processus faciles à utiliser, des diagnostics intégrés pour le dépannage, et plusieurs recettes pour des configurations de processus optimales. De plus, la machine peut être configurée pour différentes recettes et paramètres de processus pour permettre aux utilisateurs de la personnaliser pour leurs besoins spécifiques. En résumé, 515 est un graveur haute performance conçu pour le dépôt fiable et précis et la gravure d'une variété de matériaux. Il offre des taux de dépôt et de gravure rapides ; contrôle précis des paramètres du processus ; un outil de contrôle robuste ; l'utilisation souple des gaz d'attaque ; une manipulation précise des plaquettes ; et des fonctionnalités conviviales pour un fonctionnement sans problème.