Occasion TEGAL 515 #9192920 à vendre en France

TEGAL 515 est un équipement de graveur/asher conçu et fabriqué par Lam Research Corporation. Ce système graveur/asher de plaquettes est principalement utilisé pour l'élimination des matériaux semi-conducteurs. 515 utilise une puissante chambre de processus et dispose d'une conception de source multi-étages avec une grande unité de distribution de gaz multi-diélectrique. TEGAL 515 est équipé d'une chambre principale, d'une machine à plasma haute densité (HDP) et d'une turbopompe indépendante. La chambre principale est une chambre de procédé isolée contrôlée par la température qui est très efficace avec une faible consommation d'énergie. Cette chambre fournit un environnement contrôlé pour l'élimination efficace sans la présence de gradients thermiques ou d'interactions mécaniques entre la plaquette et les gaz de procédé. La chambre principale élimine également les risques de contamination qui pourraient résulter d'un rayonnement thermique direct ou indirect. L'outil HDP fournit un plasma haute densité pour créer une gravure chimique assistée par plasma et est capable de fonctionner sur des photomasques multicouches. Pour augmenter encore la précision de gravure, une source d'ions à faible impact est incluse. La source d'ions est également utilisée pour créer des dépôts assistés par plasma. La turbopompe indépendante assure un environnement de vide constant et stable dans la chambre de procédé en contrôlant activement la pression dans la chambre de procédé. La turbopompe peut atteindre des pressions de fonctionnement jusqu'à 10-7 mbar. La 515 est équipée d'une variété d'options d'alimentation en gaz qui peuvent être activées dans une configuration de livraison sans bulle ou sans bulle. Les options d'approvisionnement en gaz comprennent l'azote, l'oxygène, l'argon, le dioxyde de carbone et l'hexafluorure de soufre. L'alimentation intégrée en gaz permet l'utilisation de multiples gaz de traitement et peut être optimisée pour répondre aux besoins spécifiques de chaque application. TEGAL 515 dispose également de fonctionnalités de sécurité et de fiabilité améliorées qui comprennent un actif de protection contre les interférences électromagnétiques et sa conception modulaire configurable rend l'installation et la maintenance une brise. Enfin, son interface programmable permet un prétraitement automatisé, un reporting in situ et une collecte de données en fin d'exécution. Avec ses caractéristiques de sécurité améliorées, son modèle plasma haute densité, sa turbopompe indépendante et son interface programmable, 515 graveurs/asher de Lam Research Corporation est un choix idéal pour l'enlèvement de matériaux semi-conducteurs.