Occasion TEGAL 6500 / 6540 #165814 à vendre en France
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Vendu
ID: 165814
Style Vintage: 2006
Dry etch system, 6"
Software
Main Software: Tegal Software Version 5.54
Operating System: DOS
Host Interface: Tegal 65** Gem/Secs Ii Version 1.9e
Human Interface
Main Interface: Vga Monitor (12vdc) With Touchscreen (Front)
Remote Interface: Vga Monitor (12vdc) With Touchscreen (Rear)
Additional Interface: Windows Compliant Keyboard
Signal Tower: Yes (Red, Amber And Green)
Process Module: PM1 / PM2 / PM3
Manufacturer: TEGAL / TEGAL / TEGAL
Function: PLASMA/RIE ETCH / PLASMA/RIE ETCH / PLASMA STRIPPER
Environment: VERY-LOW PRESSURE / VERY-LOW PRESSURE / LOW PRESSURE
Chamber: CAPACITIVE COUPLED / CAPACITIVE COUPLED / INDUCTIVE COUPLED
Chuck: ESC CHUCK / ESC CHUCK / CENTERING RING
Rough Pump: ALCATEL ADS602 / ALCATEL ADS602 / ALCATEL ADS602
Turbo Pump: VARIAN TV-1001 / VARIAN TV-1001 / NONE
Turbo Pump Controller: VARIAN TURBO-V 1000 ICE / VARIAN TURBO-V 1000 ICE / NONE
Convectron: VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (SUB-CHAMBER X1 AND FORELINE X1) / VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (SUB-CHAMBER X1 AND FORELINE X1) / VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (SUB-CHAMBER X1 AND FORELINE X1)
Baratron: MYKROLIS CMX100 (100mTORR) / MYKROLIS CMX100 (100mTORR) / MKS CAPACITANCE MANOMETER (1TORR)
Ion Gauge: EDWARDS ACTIVE GAUGE AIM-S-NW25 / EDWARDS ACTIVE GAUGE AIM-S-NW25 / NONE
Pressure Control: VAT THROTTLE VALVE (61246-PIGG-AEG1) / VAT THROTTLE VALVE (61246-PIGG-AEG1) / VAT THROTTLE VALVE (61246-PIGG-AEG1)
Endpoint: DIODE ARRAY / DIODE ARRAY / DUAL DIODE
RF GENERATOR (Mhz) MKS OEM-12B / MKS OEM-12B / MKS OEM-12B
RF GENERATOR (Khz) ENI LPG-6ATM 1 / ENI LPG-6ATM 1 / NONE
Mfc 1 CF4 (50sccm) CF4 (50sccm) O2 (2000sccm)
Mfc 2 Cl2 (50sccm) Cl2 (50sccm) O2 (200sccm)
Mfc 3 NOT USED / HBr (50sccm) NOT USED / HBr (50sccm) N2 (200sccm)
Mfc 4 CHF3 (100sccm) / CHF3 (100sccm) / NONE
Mfc 5 Ar (50sccm) Ar (50sccm) NONE
Mfc 6 O2 (50sccm) O2 (50sccm) NONE
Wafer Backside: Flow He (5Torr UPC) He (5Torr UPC) NONE
Purge Gas: N2 / N2 / NONE
Vent Gas: N2 / N2
Temp. Control: HEAT EXCHANGER ON CHUCK AND UPPER WALL (80 DEG CELSIUS) / HEAT EXCHANGER ON CHUCK AND UPPER WALL (80 DEG CELSIUS) / CHUCK COIL HEATER (250 DEG CELSIUS)
Temp. Control Unit: NESLAB DUAL CHANNEL TCU / NESLAB DUAL CHANNEL TCU / THE SIXTH SENSE AI-100 TEMP. CONTROLLER
Rinser Module: PM4
Manufacturer: SEMITOOL
Function: SINGLE WAFER RINSER/DRIER
Environment: ATMOSPHERIC
Chamber: PTFE BOWL W/ PVDF LINED HEAD COVER
Chuck: PTFE FINGER CANTILEVER ON HEAD ROTOR
Rotor: STEPPER MOTOR W/ LC-1 MOTOR DRIVER
Rinser Head: LIFT AND ROTATE ASSEMBLY
Purge Gas: N2
Diw Temp: 80 DEGREES CELSIUS
Temp. Control: IN-LINE HEATER (PVDF HOUSING WITH PFA-JACKETED HEATING ELEMENT)
Temp. Control Unit: TEGAL DIW HEATER CONTROLLER
Pre-Aligner Module: PM5
Manufacturer: BROOKS AUTOMATION
Function: WAFER FLAT AND CENTER ALIGNER
Environment: VERY LOW PRESSURE
Chamber: ALUMINUM HOUSING MOUNTED TO CORE
Chuck: FORK WITH RUBBER PADS
Transfer Module: TM1 TM2
Manufacturer: ASYST ADE
Function: THETA AND RADIUS ROBOT ARM Z-AXIS, THETA AND RADIUS ROBOT ARM
Environment: VERY LOW PRESSURE ATMOSPHERIC
Controller: ASYST UTC-100A CONTROL SYSTEM ADE SERIES 350 ARM CONTROLLER
Chamber: MOUNTED INSIDE THE CORE CHAMBER MOUNTED ON THE ATMOSPHERIC PLATFORM
Modules Serviced: CM1, PM5, PM1, PM2 AND PM3 PM3, PM4 AND CM2
Casette Module: CM1 CM2
Manufacturer: TEGAL TEGAL
Function: SENDER RECIEVER
Environment: ATMOSPHERIC / VERY LOW PRESSURE ATMOSPHERIC
Chamber: ALUMINUM HOUSING MOUNTED TO THE CORE PLATFORM-TYPE
Elevator: YES / NO
Wafer Sensing: RETRO-REFLECTIVE SENSOR (INDIVIDUAL WAFER SENSING) RETRO-REFLECTIVE SENSOR (BLOCK SENSING AFTER CASETTE IS LOADED)
Vent Gas: N2 NONE
Convectron: VARIAN EYESYS CONVECTORR X1 NONE
Miscellaneous: CORE
Manufacturer: TEGAL
Function: HEXAGON-SHAPED CORE CHAMBER
Environment: VERY-LOW PRESSURE
Chamber: ALUMINUM HOUSING WITH CLEAR ACRYLIC TOP COVER
Rough Pump: ALCATEL ADP122
Turbo Pump: VARIAN TV-301
Turbo Pump Controller: VARIAN TUBO-V 301 VAVIGATOR CONTROL UNIT
Convectron: VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (CORE X1 AND FORELINE X1)
Facility Requirements
Ac Power: YES WITH POWER TRANSFORMER (380Vac Secondary, 3φ, 75KVA)
Cda: YES
Diw: YES
Cooling Water: YES
Industrial City Water : YES
Warehoused
2006 vintage.
TEGAL 6500/6540 sont des systèmes de gravure et asher avancés conçus pour le traitement de dispositifs semi-conducteurs avancés. L'équipement de haute technologie de gravure et d'ashing utilise les dernières avancées technologiques, fournissant les résultats les plus fiables et de la plus haute qualité. 6500/6540 etcher/asher est une machine impressionnante avec de nombreuses caractéristiques qui la rendent parfaite pour diverses applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système est basé sur la technologie avancée LPCVD avec deux processus distincts ; la cendre et la gravure. Cela permet à l'utilisateur de traiter simultanément les deux processus. L'unité dispose également d'un module ashing basse pression unique qui aide à réduire la contamination des particules et à augmenter le rendement. TEGAL 6500/6540 dispose d'un environnement contrôlé par la température et d'une chambre de réaction avancée hautement fiable, assurant un traitement cohérent. La technologie LPCVD fournit l'environnement optimal à travers la chambre sous pression, pour produire des pièces de qualité. Une machine à vision intégrée surveille les résultats de traitement et les réactions pour s'assurer que les pièces conservent des niveaux de qualité élevés. L'outil est conçu pour le traitement manuel et automatisé, ce qui le rend très polyvalent pour divers processus et applications. Pour le traitement automatisé, 6500/6540 contrôle la pression et la température pendant la cendre, ainsi que le contrôle de la gravure. L'actif offre également un suivi et un diagnostic de précision, ainsi que des capacités d'analyse intégrées pour garantir la performance des processus. TEGAL 6500/6540 dispose également de capacités de manutention avancées. Les robots intégrés travaillent ensemble pour fournir des pièces dans la séquence la plus efficace pour l'optimisation des processus. Le modèle est également équipé d'un équipement de convoyage unique, qui fournit le produit rapidement et efficacement. 6500/6540 est capable d'aspirer et de graver à travers de nombreux matériaux, y compris les métaux, la céramique, les semi-conducteurs et les plastiques. Le système a été conçu pour soutenir une grande variété de procédés chimiques, notamment l'ISO-CVD, l'OXCVD et le MWBE. De plus, l'unité a intégré des dispositifs de sécurité, tels que des dispositifs de verrouillage de sécurité, des arrêts d'urgence et des dispositifs anti-explosion. TEGAL 6500/6540 fournit des résultats cohérents et de haute qualité dans une grande variété d'applications. Grâce à ses capacités de cendrage et de gravure avancées, la machine offre un traitement fiable et des résultats de qualité constante. L'outil offre également une variété de fonctionnalités avancées et de capacités intégrées, ce qui en fait un graveur/asher idéal pour différentes capacités de production.
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