Occasion TEGAL 6500 #9238618 à vendre en France

TEGAL 6500 est un outil de microfabrication utilisé pour la gravure et l'ashing dans un large éventail de matériaux. L'équipement est extrêmement polyvalent, avec un large éventail d'applications incluant le dopage, le dépôt, l'enlèvement de matériaux et la gravure. Son système de chauffage standard lui permet de traiter un large éventail de matériaux, dont les métaux, le silicium, les oxydes, les polymères et la céramique. 6500 dispose d'un réacteur de 13 zones, qui se compose d'une chambre à cristaux octogonale hydraulique (28,5 cm de diamètre) et de six canaux d'extraction en suspension magnétique, hors plan, régulièrement répartis. Cette conception électromagnétique donne à l'unité une grande flexibilité lors du choix et de la définition des paramètres de gravure et de cendrage. Le réacteur de 13 zones permet à TEGAL 6500 d'atteindre un total de 18 zones de surface de traitement utilisable, tandis que sa répartition uniforme du flux gazeux sur toute la surface de traitement donne même gravure et cendrage sur toutes les surfaces. La hauteur de levage standard de 6500 est de 20mm, dépassant les normes actuelles de l'industrie. La machine dispose également d'une large gamme d'options auxiliaires. Ceux-ci peuvent être configurés pour des applications spécifiques, telles que la gravure ionique réactive, et ils peuvent être utilisés pour améliorer des mécanismes de gravure spécifiques ou pour optimiser le débit du processus. Il s'agit notamment d'une source d'ions, d'une source de plasma à distance, d'un outil d'identification et de compensation des points chauds du plasma et d'une fonction de dépôt avancée. La source ionique peut être utilisée pour obtenir une haute fidélité et une gravure verticale de matériaux comme le silicium et les alliages de germanium. La source de plasma à distance peut être utilisée pour obtenir une gravure homogène pour des structures à haut rapport d'aspect. Le Plasma Hot-Spot Identification and Compensation Asset désigne un modèle utilisé pour détecter et supprimer les points chauds qui peuvent endommager les caractéristiques de surface. La fonction de dépôt avancé peut être utilisée pour créer des couches métalliques conductrices ou isolantes. TEGAL 6500 est conçu avec un équipement de gestion avancé qui fournit un accès à distance et une surveillance en temps réel pour toutes ses fonctions via son panneau de commande dédié. Cela permet d'améliorer la sécurité et le contrôle des processus, ainsi que la maintenance pratique du système. Tous les paramètres d'unité pertinents peuvent être remplis à partir de sa bibliothèque intégrée, et il a la capacité supplémentaire d'enregistrer et de rappeler des recettes pour une réutilisation facile. 6500 est un outil extrêmement pratique et polyvalent, qui offre un large éventail d'options pour la recherche et le développement, le prototypage et la production. Sa gestion avancée des processus, associée à son large éventail d'options, le rend bien adapté à une variété de processus en laboratoire et dans les environnements de fabrication. Sa grande variété d'options et son caractère abordable en font un excellent choix pour une variété de processus et d'applications.