Occasion TEGAL 6540 #9267990 à vendre en France

TEGAL 6540
Fabricant
TEGAL
Modèle
6540
ID: 9267990
Taille de la plaquette: 6"
Etcher Process: Metal dry etch.
TEGAL 6540 est un graveur/asher de pointe qui combine vitesse et précision dans ses processus de gravure et d'ashing. Avec un design multi-stations, 6540 peut être personnalisé pour répondre aux exigences de gravure et d'ashing d'une grande variété de matériaux, y compris le carbure de silicium, le nitrure de silicium, le nitro-molybdène (NMO) et le tungstène. En tant que modèle haut de gamme, TEGAL 6540 offre un taux de gravure plus élevé que les autres modèles, permettant des processus de gravure et de cueillette plus rapides et plus efficaces. 6540 dispose également d'une disposition unique de chambre à quatre zones, offrant un accès rapide pour la gravure et le cendrage. La chambre à quatre zones comprend deux zones plasma et deux zones gaz réactifs. En outre, TEGAL 6540 peut être réglé pour gérer à la fois la gravure et la cendre en même temps. 6540 est une machine entièrement automatisée avec une configuration multi-axes unique qui offre des taux de gravure et de cendrage élevés pour une variété de surfaces. La chambre TEGAL 6540 est divisée en quatre zones, chaque zone pouvant produire un effet de gravure et d'ashing différent. À l'aide d'un équipement d'alignement optique automatisé, 6540 peut s'ajuster automatiquement pour toutes les imperfections dans le processus de gravure ou de cueillette, fournissant des résultats de haute précision. De plus, TEGAL 6540 dispose d'un système de nettoyage automatique qui utilise une variété d'agents de nettoyage pour enlever les débris et d'autres contaminants de la chambre et de l'optique. L'unité de nettoyage dispose également d'une machine à bras rotatif qui aide à réduire le temps nécessaire pour nettoyer la chambre. Dans l'ensemble, 6540 est un graveur/asher de pointe qui fournit un outil fiable, efficace et précis pour graver et aspirer une variété de matériaux. Avec son design à la fine pointe de la technologie, TEGAL 6540 est un choix idéal pour une large gamme d'applications de gravure et d'ashing.
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