Occasion TEGAL 701 #104111 à vendre en France

TEGAL 701 est un graveur à sec à haute résolution, commandé par ordinateur, conçu pour la micro-structuration de petites plaquettes et substrats. C'est un outil de gravure polyvalent qui peut gérer un large éventail de processus de gravure, ce qui en fait un choix idéal pour les applications de recherche et de production. 701 utilise un système logiciel avancé pour surveiller le processus de gravure, permettant à l'utilisateur de personnaliser les paramètres de gravure pour obtenir les meilleurs résultats. L'graveur dispose d'une large gamme d'options pour contrôler la vitesse de gravure, la température du substrat, l'angle de gravure et le débit de gaz. De plus, le système avancé de contrôle automatique de la pression (APC) garantit que la pression à l'intérieur de la chambre reste constante, quelle que soit la chimie utilisée. TEGAL 701 offre également une capacité de passage rapide automatisé (QCO), qui facilite le transfert de plaquettes très efficace et sûr entre les différents processus de gravure, comme de la gravure humide à la gravure sèche. Cela garantit des performances de gravure de haute qualité, sans passer de temps supplémentaire pour une stabilité accrue du taux de gravure. La 701 offre également une grande flexibilité pour la gravure plasma de divers matériaux tels que le silicium, les métaux, la céramique et les matériaux semi-conducteurs. L'etcher comprend une source de plasmatron thermique spécialement conçue, capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1000 ° C avec des dommages plasmatiques minimes. En outre, l'graveur offre également une gravure sous vide basse pression avec des mélanges de gaz inertes à faible concentration et une gravure à haute pression, pur gaz. TEGAL 701 est également capable d'effectuer des gravures profondes, avec une résolution verticale de 250nm et une résolution horizontale de 75nm. De plus, son système intégré de suivi en temps réel des plaquettes permet à l'utilisateur de positionner avec précision et précision les plaquettes pour la gravure. Dans l'ensemble, 701 est un graveur sec puissant, flexible et fiable pour une grande variété de procédés de gravure. Son logiciel de contrôle avancé, son passage rapide automatisé et ses capacités de gravure haut de gamme en font un choix idéal pour la recherche et la production.