Occasion TEGAL 701 #9000653 à vendre en France

TEGAL 701
Fabricant
TEGAL
Modèle
701
ID: 9000653
Plasma in-line etcher, 4".
TEGAL 701 est un graveur/asher utilisé pour la microélectronique haute résolution. C'est un outil puissant pour enlever les matériaux indésirables des substrats semi-conducteurs, et est souvent utilisé pour graver des motifs fins avec un bord fin et précis. L'équipement utilise une source laser de forte puissance pour créer un faisceau lumineux focalisé, qui est ensuite dirigé sur le substrat. Ce faisceau est utilisé pour déposer un composé chimique sur le substrat puis vaporiser le matériau afin de créer de petits trous, ou motifs de microgravure. 701 a une table optique qui est conçue pour accueillir de grands substrats, jusqu'à 1200 mm de longueur. Il peut graver jusqu'à 0,3 μ m de résolution, permettant un contrôle précis du processus de gravure. La machine est entièrement automatisée, ce qui permet des processus de gravure et de cueillette rapides et très fiables. Il dispose également d'une chambre de procédé contrôlée par la température qui aide à maintenir une température uniforme tout au long du cycle, ce qui assure une meilleure reproductibilité du procédé de gravure. Il offre également une option autofocus qui permet un balayage rapide et facile du substrat. Le système dispose également d'une unité de surveillance d'arc, qui mesure l'arc de tension de trace au début et à la fin des cycles de gravure. Ceci garantit que le matériau du substrat n'est pas surgravé, ce qui réduit le risque d'endommagement. La machine permet également une analyse post-processus approfondie, donnant aux utilisateurs des informations détaillées sur le processus de gravure. L'outil comprend également le logiciel interne de TEGAL 701, qui peut être utilisé pour surveiller et contrôler le processus. Cela inclut le réglage automatique des paramètres, permettant aux utilisateurs de peaufiner leur processus de gravure. En outre, il fournit des capacités de diagnostic, permettant aux utilisateurs d'identifier et de traiter les problèmes rapidement et efficacement. 701 etcher/asher est conçu pour être utilisé dans les départements de recherche et développement. Il est idéal pour produire des caractéristiques gravées aux normes exigeantes dans une variété d'industries, telles que l'électronique, la médecine et la fabrication automobile. Avec ses capacités de gravure de haute précision et son contrôle automatisé des processus, il est un outil précieux pour créer des pièces complexes et de haute qualité.
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