Occasion TEGAL 701 #9000660 à vendre en France

TEGAL 701
Fabricant
TEGAL
Modèle
701
ID: 9000660
Plasma in-line etcher, 4" In-operable.
TEGAL 701 est un graveur/aser conçu pour le traitement de précision des plaquettes de silicium et de semi-conducteurs composés. Il dispose de capacités de gravure avancées et est adapté à un large éventail d'applications, de la structure de surface précise au traitement et à la fabrication d'appareils personnalisés. 701 est entièrement automatisé et dispose de plusieurs choix de mode, permettant aux utilisateurs d'adapter leur gravure aux exigences exactes de leur appareil. Son équipement intégré de distribution de gaz permet de traiter les gaz avec précision et précision pour une précision maximale de gravure. L'unité a une puissance source de 1600W et des pressions plasmatiques jusqu'à 1,2 Pa (9 mTorr), avec des gaz de traitement incluant le fluor, le chlore, l'oxygène et l'hydrogène sulfuré. Le système est équipé d'une plate-forme de pièce réglable manuellement, permettant aux utilisateurs de déplacer et de positionner les plaquettes sans avoir à les retirer de l'graveur. Son interface utilisateur facile permet un fonctionnement simple et un contrôle de température précis pour les processus sensibles à la température. Cela fait de TEGAL 701 un choix idéal pour une gravure fiable et précise. En plus de ses capacités de gravure, 701 dispose également d'une unité de contrôle automatique de pression intégrée, permettant une plus grande précision dans les opérations sous vide. Une machine de manutention automatisée des plaquettes permet des processus de positionnement précis et faciles. L'etcher est également équipé d'un capteur de température avancé qui surveille avec précision toutes les températures pendant la gravure. L'outil est également conçu pour un faible taux de particules, assurant des environnements propres et sans contamination. L'interface logicielle de TEGAL 701 permet une configuration et un fonctionnement faciles, avec tous les paramètres nécessaires à la gravure, y compris la puissance, la pression et le débit, étant facilement réglés. L'unité dispose également d'une jauge de vide pour surveiller le niveau de vide lors de la gravure. Au total, 701 est un graveur puissant et fiable, conçu pour une utilisation précise dans un large éventail de tâches de traitement. Avec ses capacités de gravure avancées, son fonctionnement simple et son contrôle intégré de la température et de la pression, l'actif est idéal pour toute situation nécessitant une gravure précise des plaquettes de silicium et de semi-conducteurs composés.
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