Occasion TEGAL 803 #201078 à vendre en France

Fabricant
TEGAL
Modèle
803
ID: 201078
Plasma inline etcher.
TEGAL 803 est un graveur/asher avancé conçu pour une variété de processus spécialisés. Cette plate-forme de gravure spécialisée est idéale pour une variété de procédés, y compris, sans s'y limiter, la gravure humide de structures complexes, la gravure d'oxyde, les microstructures photoniques et plasmoniques à haut rapport d'aspect, et la gravure sèche. Cet équipement technologiquement avancé est disponible par l'intermédiaire de TEGAL Corporation, un fournisseur leader de systèmes de gravure sur mesure et asher, dans le monde entier. 803 dispose d'une conception de chambre verticale qui lui permet de traiter des substrats jusqu'à 8 pouces de diamètre. Ce système est équipé de l'unité de contrôle unique Etch Wizard II, qui assure un contrôle simple et intuitif du processus de gravure et d'émission. L'assistant Etch II permet également aux utilisateurs d'interagir à distance avec la machine, ce qui rend le fonctionnement et la maintenance beaucoup plus faciles et plus pratiques. TEGAL 803 fournit également deux systèmes de contrôle supplémentaires : le Touch Assistant et le Digital Etch Selector (DES). L'outil de contrôle DES permet aux utilisateurs de contrôler avec précision leurs paramètres de processus de gravure tels que la pression, le temps et la puissance. 803 offre également une large gamme de caractéristiques conçues pour maximiser le processus de gravure et d'émission. L'actif est capable de supporter le traitement des substrats à chaud et à froid, selon les paramètres de processus souhaités. En outre, il est également capable de supporter une large gamme de gaz de gravure et de chimies de gravure, y compris des formules de gravure humide pour les matériaux oxydes et métalliques. Le processus d'émission est également réglable, permettant aux utilisateurs de personnaliser leur profil d'émission pour optimiser leurs processus. TEGAL 803 possède également des caractéristiques de sécurité avancées. Plus particulièrement, le modèle est équipé de l'équipement de détection des fuites TEGAL Shield, conçu pour détecter rapidement et avec précision tout gaz dangereux pouvant présenter un risque lors de la gravure. En outre, le système est également équipé d'une variété de systèmes d'inertage, conçus pour prévenir davantage les fuites de gaz potentielles. 803 est une plate-forme de gravure avancée qui est capable de graver rapidement et avec précision une variété de structures complexes. Cette plate-forme de gravure avancée est supportée par une variété de systèmes de contrôle intuitifs et précis, ainsi que des fonctionnalités de sécurité améliorées. Avec son design unique, ses caractéristiques avancées et ses performances fiables, TEGAL 803 est un choix idéal pour les processus de gravure spécialisés.
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