Occasion TEGAL 803 #9180201 à vendre en France

TEGAL 803 était un graveur et asher développé par TEGAL Devices, Inc. dans les années 80. Il a été conçu pour être utilisé dans le développement de circuits intégrés, y compris pour la production de divers niveaux de production de métaux et de diélectriques pour des composants électroniques minces et à petite échelle. 803 était un graveur et asher de haute performance utilisé pour former des structures métalliques et diélectriques à couches minces. Il comportait des composants de pointe, dont un écran numérique monté sur panneau et de puissants moteurs de graveur et de cendrier. TEGAL 803 avait une variété de fonctionnalités conçues pour permettre aux utilisateurs de planifier et d'exécuter avec précision les processus. Les taux de cendres pourraient être contrôlés de 0,1 à 5,0 watts avec 0,01 incréments, tandis que le taux de gravure plasma pourrait être réglé de 0,3 à 5,0 watts avec 0,01 incréments. Il avait également une alimentation avancée qui pouvait supporter une gamme de techniques alimentées par plasma, y compris la pression des orteils, la pression supportée, et la gravure des bulles. Son panneau convivial a permis aux concepteurs de circuits intégrés et aux ingénieurs d'entrer et de régler rapidement et facilement des paramètres tels que la pression, la puissance et les séquences de processus. 803 était équipé d'un large éventail de matériaux et de composants, y compris un sous-système de contrôle de pression différentielle de haute précision, une fonction de contrôle de l'inclinaison qui permettait à l'utilisateur de contrôler la trajectoire du processus, et un système d'alimentation et de purge multi-gaz dédié. Le contrôleur du système a été intégré au panneau, permettant une gravure précise et répétable des structures en couches minces. TEGAL 803 a également incorporé une technique de dépôt de fil à plusieurs poches indexées qui offrait de puissantes capacités d'imagerie par masque i-line et DUV. 803 a été conçu pour être très fiable et cohérent. Ses fonctions avancées de séquençage automatique et de suivi automatique certifiées ISO 9000 ont permis aux utilisateurs de développer rapidement des structures de couches minces avec des distributions de densité uniformes précises. Sa caractéristique de dépôt métallique robuste pourrait atteindre des épaisseurs inférieures à 2 microns et des largeurs aussi étroites que 1 micron. De plus, son traitement avancé en ECR (résonance cyclotron électronique) a permis d'accélérer les vitesses de gravure et d'améliorer la convergence des arêtes pour des structures de gravure complexes. En bref, TEGAL 803 était un graveur et asher puissant et fiable conçu pour aider les ingénieurs de circuits intégrés à développer rapidement et avec précision des structures métalliques et diélectriques à couches minces. Il comportait un affichage numérique avancé et des moteurs graveurs/asher, un contrôle précis des paramètres de processus, et une sélection robuste de matériaux et de composants. Grâce à ses caractéristiques de haute performance et au séquençage et au suivi automatique certifiés ISO 9000, 803 a offert aux utilisateurs des résultats fiables, contribuant au développement de composants électroniques à micro-échelle en couches minces.