Occasion TEGAL 803 #9260044 à vendre en France

TEGAL 803 etcher est un équipement de gravure multi-processus conçu pour des applications industrielles à haut volume. Son efficacité élevée et son faible coût en font une option attrayante pour une variété de tâches. 803 est un graveur de processus entièrement automatisé à chambre unique d'une capacité de chambre à vide de 8,4 litres et d'une pression de travail allant jusqu'à 0,1 tr. Il est équipé d'une alimentation par polarisation RF ainsi que d'une alimentation hyperfréquence pour différents processus de gravure. Il comporte également deux plaques de gravure à quartz, un dispositif générateur de plasma et une source de matériaux résistifs. Le système comprend également une unité de fixation informatisée de haute précision pour fixer précisément le générateur RF et l'alimentation en polarisation des plaques de gravure avant l'introduction du substrat dans la chambre. La machine de fixation informatisée facilite les conditions précises et répétables du processus de gravure et assure l'uniformité de toutes les plaquettes placées dans la chambre. Le contrôle précis et reproductible du procédé de TEGAL 803 le rend idéal pour la production de substrats à petites lignes de haute qualité. Il peut graver des substrats jusqu'à 200 µm d'épaisseur, avec un pas de gravure minimal de 20 µm. La température de la chambre peut être réglée à un maximum de 400 ° C L'outil dispose également d'un chargeur simple de plaquettes informatisé à grande vitesse, capable de charger jusqu'à 4 plaquettes par minute dans l'actif. Le processeur du modèle contient également des algorithmes de reconnaissance de wafer pour assurer la répétabilité maximale des processus gravés ainsi que la cohérence des wafer de process à wafer. La suite de diagnostic embarquée 803 améliore encore l'efficacité opérationnelle en surveillant l'état de l'équipement et en présentant des fonctions de gestion d'alarme. En lisant les paramètres du système, les conditions du processus et d'autres valeurs unitaires, il peut souvent diagnostiquer des problèmes et guider les utilisateurs vers des mesures correctives. En outre, TEGAL 803 comprend une machine de pré-dépôt active, conçue pour préparer la surface de la plaquette afin de maximiser l'uniformité et la précision de gravure. D'autres fonctionnalités comprennent un outil de nettoyage automatisé pour optimiser la performance des actifs et réduire les temps d'arrêt. 803 est conçu pour fournir une fiabilité et une gravure cohérente de haute qualité dans les applications industrielles, à petite échelle ou de recherche. Ses caractéristiques avancées et son fonctionnement efficace en font un choix idéal pour une gravure durable et performante.