Occasion TEGAL 900ACS #293635732 à vendre en France

TEGAL 900ACS est un graveur/asher conçu pour le traitement de substrat offrant des performances de gravure/cendres supérieures dans une variété de matériaux semi-conducteurs et non-semi-conducteurs. Cet etcher/asher utilise la technologie unique de distribution d'énergie RF/DC de TEGAL, permettant un haut débit et des résultats de processus précis. 900ACS offre plusieurs options qui permettent à l'utilisateur de personnaliser son processus de gravure/cueillette et d'améliorer le rendement. Le graveur/asher utilise un processus en trois étapes : pré-nettoyage, gravure/cendres et post-nettoyage. Dans l'étape de pré-nettoyage, l'utilisateur peut choisir de pomper la chambre à l'aide d'une pompe mécanique puis remplir la chambre d'un gaz propre, généralement un gaz inerte comme l'azote, pour aider à réduire les particules d'entrée dans la chambre. Cette étape peut éventuellement inclure d'autres techniques de nettoyage, telles que le nettoyage par plasma RF. La deuxième étape est le scénario gravure/cendres. L'utilisateur est capable de personnaliser le processus en utilisant la puissance RF ou DC, selon les matériaux traités. L'utilisateur est également capable de régler le niveau de puissance, la pression et les flux de gaz pour atteindre la profondeur de gravure/cendres souhaitée. Au fur et à mesure du processus de gravure, les gaz d'échappement sortiront de la chambre TEGAL 900ACS pour éviter la contamination de la plaquette. La troisième et dernière étape est le processus post-nettoyage. Pour cette étape, la chambre est soit pompée mécaniquement, soit remplie d'un gaz propre pour aider à réduire les particules entrant dans la chambre. Les résidus de gravure/cendres restants sont ensuite éliminés, soit par nettoyage humide, soit à sec. 900ACS offre des performances de gravure/cendres supérieures dans une variété de matériaux, ce qui le rend bien adapté à un large éventail d'applications. Sa technologie avancée de distribution d'énergie RF/DC et ses réglages personnalisables garantissent des processus précis et reproductibles, et son cycle pré-nettoyage, gravure/cendres et post-nettoyage permet d'éliminer efficacement les résidus.