Occasion TEGAL 900e #9121969 à vendre en France
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TEGAL 900e est un équipement innovant de graveur/asher conçu pour permettre une gravure précise et précise d'une grande variété de matériaux. Avec une technologie flexible de pointe, TEGAL 900 E offre la précision et la flexibilité ultimes pour des applications allant de simples couches simples à des masques durs complexes et des structures métalliques. 900e est équipé d'un générateur Ultra Plasma innovant (UPG) avec une source RF avancée pour l'exposition aux photorésistances, fournissant jusqu'à 22kW de puissance très efficace dans la gamme 10-13.56MHz et adapté à l'électronique de commande pour la génération contrôlée de plasma. Cela permet à la fois la gravure traditionnelle et le cendrage/dépôt. Le système comprend des processus automatisés innovants, tels que l'ingénierie d'uniformité, l'optimisation basée sur des algorithmes et les techniques de détection de défauts pour assurer les meilleurs résultats de gravure et de cueillette. Une variété de mélanges de gaz et de niveaux de pression peuvent être spécifiés pour répondre à différents besoins de traitement des matériaux. 900 E dispose d'un mécanisme de chargement/verrouillage intégré pour le chargement et le déchargement rapides et faciles des pièces. Il comprend également une machine d'obturation modulaire configurable avec des rideaux mécaniques autonomes qui peuvent être utilisés pour isoler la chambre de l'atmosphère ouverte pendant le fonctionnement. Cet outil d'obturation assure la sécurité et permet l'automatisation complète de l'actif. Le modèle est équipé d'un panneau de commande, qui comprend un écran d'affichage de 7 ", pour une surveillance et un contrôle faciles de l'équipement. De plus, TEGAL 900e offre une intégration du contrôleur au niveau du site, un accès externe aux paramètres du programme et une capacité d'enregistrement des données en temps réel. TEGAL 900 E est un outil puissant pour produire des structures d'appareils complexes, et fournit la précision, la répétabilité et le débit nécessaires pour une grande variété d'applications. C'est une solution rentable pour la production de pièces de haute qualité dans les industries semi-conductrices, médicales et autres.
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