Occasion TEGAL 901 / 903 #9285865 à vendre en France

TEGAL 901/903 Asher/Etcher est l'un des systèmes de gravure/cueillette les plus puissants et polyvalents disponibles. Il fournit un débit ultra-élevé avec des processus de gravure sèche et humide. L'équipement est capable de graver/cendre des plaquettes de 3 « et 4 » à grande vitesse grâce à sa chambre de processus de haute puissance, son générateur de radiofréquence de grande puissance et un système de manutention robotique des plaquettes. La chambre de procédé de l'unité est en acier inoxydable avec un revêtement en céramique résistant à la chaleur. A l'intérieur de la chambre se trouve l'ensemble électrode de gravure/ashing qui est alimenté par un générateur radiofréquence de forte puissance. Cela permet d'adapter les paramètres de gravure/ashing à l'application spécifique du client. La machine d'alimentation en gaz assure l'évacuation rapide et efficace des sous-produits gazeux de la chambre de traitement. L'outil de manutention de la plaquette est capable de manipuler jusqu'à cinq plaquettes simultanément à une vitesse d'alimentation pouvant atteindre 200mm par seconde. Il permet également une uniformité accrue sur une large gamme de tailles de plaquettes, avec une précision de 0. < sup > 2 </sup > mm. Le mécanisme robotique offre le coût total de possession le plus bas pour l'actif de manutention de la plaquette et offre une disponibilité maximale pour la qualité de production. Les plaquettes sont placées sur un porte-plaquettes qui est déplacé pneumatiquement du poste de charge au poste de déchargement. Les vitesses de gravure sélectionnables et le débit élevé sont fournis par un modèle fiable de dissipation de puissance à deux étages qui offre une répartition uniforme du gaz par pompes à pression. Le générateur de plasma monochromatique assure un contrôle précis de l'énergie et de la température des ions qui sont des paramètres importants pour les processus de gravure et de cueillette. Il en résulte un contrôle maximum sur les profils de gravure et de cendrage, fournissant le plus haut débit et la plus haute qualité de plaquettes. 901/903 Asher/Etcher est conçu avec la sécurité, l'entretien et la fiabilité à l'esprit. Il intègre une série de pare-feu et de systèmes de suppression d'étincelles pour assurer la sécurité pendant le fonctionnement et la maintenance. Il dispose également d'un équipement de refroidissement très efficace ainsi que d'une liste complète de pièces de rechange et de composants pour garantir la fiabilité et les performances à long terme. En résumé, TEGAL 901/903 Asher/Etcher est un système de gravure/cueillette efficace et fiable qui offre un contrôle maximal et des rendements de production ultra-élevés. C'est le choix idéal pour travailler avec une variété de tailles de plaquettes et est exceptionnellement fiable et sûr.