Occasion TEGAL 901 #293624765 à vendre en France

TEGAL 901 est une machine de graveur/asher organique conçue pour des applications nécessitant une gravure de haute précision des couches organiques pour la fabrication des appareils. La machine est capable de graver et de soutirer et utilise un système avancé de balayage de position contrôlé par ordinateur. 901 utilise deux types de chambres, la chambre de gravure et la chambre asher, chacune avec une variété de fonctions et de capacités. La chambre de gravure est une cellule de gravure standard avec la dernière technologie intégrée et conçu pour répondre à un large éventail de besoins de fabrication d'appareils. Il fonctionne avec 10 à 150V à des pressions de gaz de plusieurs centaines à plusieurs milliers de Torr et des débits de chimie de 0,1 à 4,0 SCCM. La chambre dispose de deux électrodes et d'une source d'alimentation continue ou RF pour une gravure uniforme et régulière. Il offre également un affichage en temps réel des paramètres du processus, permettant à l'utilisateur de surveiller avec précision les conditions de gravure pour une fidélité maximale du processus. La deuxième chambre, la chambre asher, est conçue pour les procédés de gravure à sec. Il utilise un système avancé de chimie des gaz de gravure ionique réactive F1- Chem™ (RIE), qui est capable à la fois de gravure et de cendre. Son fonctionnement est réglable pour fonctionner à différentes pressions, températures et niveaux de puissance, permettant une flexibilité maximale du processus. La chambre dispose d'une grande cellule de traitement F1-Scan, la zone de balayage étant réglable dans l'axe x et y pour des capacités de traitement d'échantillons flexibles. Il est capable de produire une précision exceptionnelle avec des temps de traitement des échantillons rapides. TEGAL 901 est un excellent choix pour les applications de gravure et d'ashing organiques. Il est conçu pour fournir d'excellents rendements, des coûts d'exploitation réduits et des capacités de gravure ultra-précises. Son puissant logiciel embarqué assure un contrôle rapide et l'intégration des données, ce qui le rend idéal pour la fabrication d'appareils. Il offre une gamme de caractéristiques utiles et des performances robustes pour les applications de gravure et de cendrage exigeantes.