Occasion TEGAL 901 #293655088 à vendre en France
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TEGAL 901 est un équipement de haute précision de gravure/ashe conçu pour produire des motifs désirés sur des surfaces gravables/asheables telles que celles utilisées dans la fabrication de MEMS. Le système a la capacité de traiter des échantillons allant de la taille des plaquettes aux dispositifs de niveau de substrat ou de puce. 901 utilise une combinaison de techniques de gravure thermique et plasma pour fabriquer avec précision et propreté les motifs désirés selon des normes exigeantes. TEGAL 901 dispose d'un processus en deux étapes, d'abord une étape de gravure puis une étape de cueillette. Pendant le processus de gravure, du gaz chauffé est utilisé pour graver la surface de l'échantillon. Le processus de gravure thermique provoque une élimination précise du matériau de surface due au mouvement et à la réaction chimique des molécules de gaz. Une fois l'étape de gravure terminée, l'unité utilise alors un asher à plasma pour éliminer complètement tout matériau restant sur l'échantillon. 901 utilise un panneau de commande haut de gamme pour régler et contrôler des paramètres tels que la température, la pression et le débit de gaz. Il a également la capacité de programmer un motif de gravure spécifique. Cela permet à l'utilisateur de reproduire précisément une image ou un motif sur la surface de l'échantillon. La machine est conçue pour des résultats reproductibles et fiables dans le temps. Pour garantir la qualité, le fabricant a inclus diverses failles de sécurité qui arrêtent l'outil en cas d'événements imprévus. Il a également la capacité d'être mis à jour avec les derniers correctifs logiciels pour une performance optimale. Enfin, l'actif tient un registre interne de l'événement de gravure passé et des résultats pour la traçabilité et la documentation. En conclusion, le modèle TEGAL 901 etch/ashe est un outil fiable et puissant pour produire des motifs précis sur les plaquettes et les composants de niveau de puce. Ses fonctions sophistiquées de contrôle, de surveillance et de programmation permettent des résultats reproductibles et des performances fiables. De plus, les mesures de sécurité avancées de l'équipement garantissent la qualité du produit gravé.
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