Occasion TEGAL 901 #293752942 à vendre en France

TEGAL 901 est un graveur/asher précis, efficace et fiable conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme. Il dispose d'un certain nombre de fonctionnalités et de fonctions avancées, ce qui en fait l'un des plus puissants graveurs/cendres disponibles. Il convient à des applications telles que la gravure à travers des couches d'oxyde, le cessivage de photorésist et le dépôt d'oxyde. 901 utilise une surface de traitement haute précision de 150mm x 150mm pour un rendement maximal, avec des résolutions spatiales sélectionnables allant de 3,5 microns à 10 microns. Il fournit également un système de contrôle de température de précision, qui peut ajuster finement la fenêtre de processus de 200 ° C à 950 ° C Cela permet de maintenir des conditions optimales de gravure ou d'ashing tout au long du processus de fabrication. TEGAL 901 dispose également d'une automatisation et d'une commande avancées, avec la capacité de fonctionner simultanément jusqu'à quatre chargeurs de cassettes et jusqu'à douze cassettes tournantes. Cela permet de traiter simultanément jusqu'à douze plaquettes. En outre, l'interface utilisateur facile à utiliser permet à l'utilisateur de contrôler complètement le processus. Cela comprend la capacité de surveiller et d'ajuster avec précision les paramètres du processus, de régler les alarmes et de détecter la dérive des performances des outils. 901 est également très efficace, consommant jusqu'à 85 % moins d'énergie et produisant jusqu'à 50 % plus de plaquettes par heure que les systèmes industriels standard. Cette aide permet de réduire à la fois la consommation d'énergie et les coûts de fabrication. En outre, des systèmes sophistiqués d'atténuation environnementale garantissent que les gaz dangereux et les résidus de particules sont maintenus à un niveau sûr, assurant ainsi des opérations sûres et efficaces. TEGAL 901 est un graveur/asher efficace, puissant et fiable conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme. Avec ses fonctionnalités et fonctions avancées, la 901 offre des performances et une précision élevées pour un rendement optimal.