Occasion TEGAL 901 #9113439 à vendre en France

TEGAL 901 est un équipement de graveur/asher compact et performant développé par TEGAL Corporation. Cet asher/etcher est utilisé pour réaliser un tissage à haute résolution de substrats avec une grande homogénéité. 901 propose des processus de gravure et d'ashing précis qui nécessitent des résultats très précis et reproductibles. Il utilise une large gamme de produits chimiques de gravure et de cueillette pour assurer l'uniformité des processus de gravure et de cueillette. Il utilise des algorithmes propriétaires de contrôle des processus pour le contrôle précis des processus. Le système utilise un algorithme propriétaire de burnout à haute température pour obtenir un burnout uniforme qui élimine la contamination indésirable des parois latérales. TEGAL 901 dispose également de capacités de fixation optique haute résolution pour garantir la plus grande précision et précision possible du processus de gravure et d'ashing. 901 est équipé d'un panneau de commande avancé qui rend l'ensemble du processus de gravure et d'ashing convivial et efficace. Il utilise une interface tactile pour contrôler, surveiller et configurer les paramètres de l'unité pendant le processus. Ce panneau améliore la visibilité, ce qui facilite la surveillance et le contrôle de l'ensemble du processus. De plus, l'asher/etcher comprend plusieurs fonctions intégrées de sécurité et de surveillance qui garantissent la fiabilité du processus et un résultat de haute qualité. TEGAL 901 est conçu pour une exploitation à haut rendement et à faible coût. Il a des capacités de débit élevées et une maintenance minimale, assurant une utilisation optimale des ressources. La machine produit des motifs de haute qualité, répétables, croustillants et uniformes, avec des rendements exceptionnels en plaquettes. En outre, il offre diverses configurations de plaquettes et la compatibilité des matériaux de substrat, y compris l'aluminium, le silicium polycristallin, le silicium dopé, le dioxyde de silicium, l'oxyde d'aluminium, l'arséniure de gallium et les matériaux SiGe. 901 dispose d'opérations à haute température, permettant une gravure et un cendrage à grande vitesse et des rendements améliorés. Il intègre également un algorithme de burnout avancé pour éliminer le besoin de phases de refroidissement, rendant le graveur/asher plus économe en énergie. En plus de son fonctionnement efficace, TEGAL 901 a une conception compacte et robuste et supporte plusieurs caractéristiques de sécurité, ce qui le rend idéal pour des applications industrielles.