Occasion TEGAL 901 #9226736 à vendre en France
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ID: 9226736
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1985
Nitride etcher, 6"
Missing parts
1985 vintage.
TEGAL 901 est un graveur/asher avancé avec une plate-forme entièrement personnalisable qui permet un traitement précis des matériaux. Avec la capacité de fonctionner avec la température la plus chaude et les taux de dépôt à long terme les plus élevés disponibles sur le marché, la 901 permet une protection efficace et l'isolement mécanique des assemblages monocouches et multicouches dans une large gamme de matériaux. Ce graveur/asher de pointe est alimenté par une technologie à jour, y compris un système de caméra numérique et un panneau de commande hors ligne sécurisé. Il comprend également une gamme d'options d'optimisation des procédés, permettant une gravure délicate et des variétés ashing avec un contrôle précis du temps, de la température, de la pression et des niveaux d'oxygène. TEGAL 901 utilise un gaz spécial sans chlorhydrate pour la gravure et les dispositifs de contrôle de pression pour maintenir les niveaux d'oxygène dans la plage souhaitée pendant le cendrage. 901 dispose également d'un système de chauffage à chambre indépendant qui permet le traitement automatisé des empilements de matériaux à des températures variables sans élévation supplémentaire du chauffage de la chemise. De plus, l'unité dispose d'un système de stabilité de température unique, de sorte que la température reste stable malgré de grandes variations de température du matériau, ce qui permet une gravure plus efficace et empêche les variations dans le processus. En plus de ce qui précède, TEGAL 901 a la capacité de contrôler les ondes de choc lors des processus de choc et de stockage. Il intègre en outre un faisceau laser de 480nm pour personnaliser les opérations de gravure et de cendrage pour répondre à toutes les exigences de matériaux et de processus. En outre, l'unité est équipée d'une technologie avancée d'implantation ionique à double oxyde pour le dépôt de haute précision de métaux, de diélectriques et d'autres matériaux. Au total, 901 est un graveur/asher puissant et polyvalent qui offre certains des taux de dépôt à long terme les plus élevés et les caractéristiques de traitement des matériaux les plus avancées et les plus précises sur le marché. C'est un outil idéal pour une grande variété de besoins de gravure et d'ashing, avec la capacité de s'adapter à presque n'importe quel processus et spécification de matériau.
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