Occasion TEGAL 901 #9226737 à vendre en France
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ID: 9226737
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1990
Nitride etcher, 6"
Missing parts
1990 vintage.
TEGAL 901 est un équipement de gravure de semi-conducteurs très avancé qui a été conçu pour fournir des résultats fiables de haute précision avec une qualité supérieure. 901 est construit pour la production de circuits intégrés et est parfait pour les laboratoires de recherche avancée et les procédés de fabrication de semi-conducteurs et d'IC. TEGAL 901 est une unité de gravure mono-système qui est capable d'un large éventail de tâches de gravure, y compris la gravure métallique, gravure profonde, gravure MEMS, et plus encore. Il dispose de systèmes de contrôle avancés et de technologies sophistiquées de traitement des plaquettes pour optimiser le processus et fournir des résultats parfaits sans sacrifier la qualité. 901 dispose d'une chambre de gravure verticale de 200 mm avec un miroir à 6 voies. Cette conception permet une gravure uniforme sur l'ensemble de la plaquette, et le miroir à 6 voies permet une gravure plus précise. De plus, TEGAL 901 est conçu pour maximiser l'efficacité et le débit de gravure grâce à sa capacité de multi-ciblage. 901 dispose également de capacités avancées de manipulation des plaquettes. Il offre une gestion entièrement automatisée du chargement, du déchargement, du transfert et du rejet pour des plaquettes pouvant atteindre 200 mm. Cela garantit des résultats cohérents et de haute précision sans retard. Sa machine de manutention avancée comprend également un bras de vide multi-position pour le chargement et le déchargement automatiques précis des plaquettes. TEGAL 901 est conçu pour la fabrication sophistiquée d'IC, et ses logiciels et son matériel sophistiqués offrent les meilleures options de traitement de plaquettes avancées. Son outil logiciel dispose d'une capacité de programmation et de surveillance multi-tâches, permettant aux utilisateurs de programmer et de surveiller facilement leur processus pour obtenir des résultats précis. Son logiciel de pointe comprend également la sélection automatique de recettes pour des processus complexes, permettant aux utilisateurs de choisir parmi une gamme de recettes et de réduire le besoin d'opération manuelle. 901 est un atout de gravure supérieur qui garantit des résultats fiables et précis, et est idéal pour la fabrication IC et la recherche et le développement de pointe. Sa conception avancée et ses capacités permettent aux utilisateurs d'obtenir les résultats de gravure les plus précis et de maximiser le débit.
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