Occasion TEGAL 901 #9250120 à vendre en France
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ID: 9250120
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1985
Nitride etcher, 6"
Missing parts
1985 vintage.
TEGAL 901 est un graveur/asher avancé utilisé principalement pour le contrôle des procédés et la fabrication de plaquettes dans la production de semi-conducteurs. Il utilise un système de faisceau d'électrons de haute précision pour déposer photochimiquement des matériaux à la surface du substrat. Le substrat est généralement une plaquette semi-conductrice, mais peut également être un substrat en verre ou en polymère. 901 fournit un contrôle précis et reproductible du processus et surveille le niveau du substrat en temps réel. L'utilisateur peut personnaliser les paramètres du processus pour répondre à des exigences spécifiques. Le procédé de gravure/interrogation est un type de procédé de gravure qui utilise un faisceau d'électrons pour provoquer des réactions chimiques qui altèrent la surface du substrat. Le faisceau d'électrons agit alors en tant qu'agent de « masquage » de la conception, ce qui permet au processus de gravure de se dérouler avec précision sur la conception identifiée. Le faisceau d'électrons de TEGAL 901 peut être ajusté finement au matériau du substrat et aux réglages du processus pour fournir un contrôle précis du processus. En outre, ce graveur/asher dispose d'un contrôle d'uniformité, qui calcule la puissance, la position et la longueur de faisceau. Ceci assure que le processus de gravure se déroule à une vitesse constante et à un niveau de substrat spécifique. La 901 dispose également d'une variété d'autres capacités avancées, telles que la régulation de température avancée et le profilage de changement thermique. Cette caractéristique permet de protéger la surface contre les dommages thermiques et garantit que la température est même dans tout le substrat. TEGAL 901 est également conçu pour améliorer la vitesse et la précision des processus de gravure. Il utilise un moteur électrique puissant et vitesse jusqu'à 25 m/s. Cette vitesse minimise le temps de dépôt et maximise la précision et la répétabilité par rapport aux méthodes manuelles. Dans l'ensemble, 901 est un graveur/asher robuste et fiable conçu spécifiquement pour le contrôle des processus et la fabrication de plaquettes dans la production de semi-conducteurs. Il dispose de capacités avancées qui améliorent la vitesse et la précision des processus de gravure et fournissent un meilleur contrôle des processus. Ce graveur/asher est conçu pour réduire les erreurs d'uniformité et atténuer les changements thermiques. TEGAL 901 est une solution polyvalente adaptée à une variété de procédés.
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